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PFEIFFER普发 HiPace 1800 涡轮分子泵
【简介】

PFEIFFER普发 HiPace 1800 涡轮分子泵
5X10-4hPa,真空计设计紧凑,简单好用,特别适合中低真空应用,Pfeiffer德国普发皮拉尼真空计TPR系列多种接口可选。型号包含真空计TPR280,真空计TPR281,真空计TPR270,真空计输出模拟信号:0-10V,可搭配德国pfeiffer真空计显示器TPG共同使用.

产品型号:实惠
更新时间:2026-06-01
产品地址:深圳市
浏览次数:51

产品介绍

PFEIFFER普发  HiPace 1800 涡轮分子泵

PFEIFFER普发  HiPace 1800 涡轮分子泵

核心产品优势

‌抽速性能优异,适配全类型气体‌:标准款抽速可达‌1250 l/s(氮气)‌,不同法兰版本最高可到1300 l/s,对小分子量(氢气、氦气)和大分子量气体都有 抽速和压缩比,能满足各种复杂工艺需求。

‌设计灵活,适配性强‌:支持0°到180°任意安装角度(可倒装),提供抗腐蚀性气体的C型定制版本,防护等级IP54符合工业环境要求,集成TC 1200控制器可直接连接常规电源,无需额外配置。

‌安全可靠,寿命长‌:采用成熟的复合轴承技术,额定运行寿命可达100000小时,通过SEMI S2、UL、CSA和TÜV安全认证,支持RS-485通讯接口,Profibus/DeviceNet远程控制可选。

核心技术参数

表格

参数项具体规格

氮气抽速1250 l/s

氦气抽速1300 l/s

氢气抽速1100 l/s

氮气压缩比>1×10⁸

最高启动压强2 hPa

极限压力(氮气)<1×10⁻⁷ hPa

全转速氮气流量20 hPa·l/s

启动时间2.5 min

整机重量27-40.9 kg

标准进气接口DN 200,可选ISO-K/ISO-F/CF-F法兰

主要应用领域

该型号广泛应用于对大抽速有要求的真空场景:

半导体:PVD、CVD、刻蚀、溅镀等工艺

镀膜行业:LED、光伏、光学镀膜、硬盘镀膜、硬质涂层

工业领域:医学技术、电子束焊接、隔离真空、灯管制造

科研研发:聚变研究、等离子物理、基本粒子物理、生物技术

普发还提供了衍生版本:HiPace 1200 C(抗腐蚀版适配腐蚀性气体)、HiPace 1200 U(支持倒装安装),满足不同特殊工况需求。

涡轮分子泵HiPace 1200-2300|普发Pfeiffer产品优势:

1.抽速从1200-23001/s的全系列产品

2.安装角度可选0°-90°和90°-180°

3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)

4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统

5.电压范围90-265V

6.获得SEMI S2,UL,CSA和TUV认证

7.防护等级IP54符合工业环境应用要求

8.适用于各种严苛工艺如刻蚀,溅镀,分子泵耐粉尘9.集成分子泵控制器TC1200,可直接连接一般电源

 核心产品特点

‌抽速性能优异,适配全类型气体‌:对氮气抽速可达‌1450 l/s‌,对氦气抽速1650 l/s、氢气抽速1700 l/s,各类气体均有出色抽吸能力,高气流量设计适配大负荷工艺需求。

‌设计灵活,场景适配性强‌:支持0-180°任意安装角度(可倒装),防护等级IP54满足工业环境使用要求,集成驱动与电源电路,搭配TC 1200控制器可直接适配常规供电,无需额外配置。

‌定制化版本丰富‌:提供多种细分版本满足特殊需求,包括抗腐蚀性气体的C系列、可倒装安装的U系列,还可扩展Profibus/DeviceNet远程通讯接口,适配不同工业控制系统。

核心技术参数

表格

参数项具体规格

氮气抽速1450 l/s

氦气抽速1650 l/s

氢气抽速1700 l/s

氮气压缩比>1×10⁸

最高启动压强1.8 mbar

极限压力<1×10⁻⁷ hPa

全转速氮气流量20-28 hPa·l/s

启动时间4 min

整机重量33-37 kg

标准进气接口DN 200 ISO-K,可选ISO-F/CF-F规格

转速31500 rpm

声压水平≤50 分贝

主要应用领域

该型号广泛应用于对大抽速有要求的  真空场景:

半导体制造:PVD、CVD、刻蚀、晶圆检测等工艺

真空镀膜:光学镀膜、LED镀膜、光伏镀膜、硬质涂层

分析仪器:大型质谱、表面分析、粒子加速器

工业领域:电子束焊接、真空热处理、灯管制造

科研研发:等离子物理、核聚变研究、纳米技术研究

我司代理及优势品牌一览明细:

代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森


优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等


优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等























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