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产品介绍
PFEIFFER普发 HiPace 1500 涡轮分子泵
PFEIFFER普发 HiPace 1500 涡轮分子泵
核心产品优势
抽速性能优异,适配全类型气体:标准款抽速可达1250 l/s(氮气),不同法兰版本最高可到1300 l/s,对小分子量(氢气、氦气)和大分子量气体都有 抽速和压缩比,能满足各种复杂工艺需求。
设计灵活,适配性强:支持0°到180°任意安装角度(可倒装),提供抗腐蚀性气体的C型定制版本,防护等级IP54符合工业环境要求,集成TC 1200控制器可直接连接常规电源,无需额外配置。
安全可靠,寿命长:采用成熟的复合轴承技术,额定运行寿命可达100000小时,通过SEMI S2、UL、CSA和TÜV安全认证,支持RS-485通讯接口,Profibus/DeviceNet远程控制可选。
核心技术参数
表格
参数项具体规格
氮气抽速1250 l/s
氦气抽速1300 l/s
氢气抽速1100 l/s
氮气压缩比>1×10⁸
最高启动压强2 hPa
极限压力(氮气)<1×10⁻⁷ hPa
全转速氮气流量20 hPa·l/s
启动时间2.5 min
整机重量27-40.9 kg
标准进气接口DN 200,可选ISO-K/ISO-F/CF-F法兰
主要应用领域
该型号广泛应用于对大抽速有要求的真空场景:
半导体:PVD、CVD、刻蚀、溅镀等工艺
镀膜行业:LED、光伏、光学镀膜、硬盘镀膜、硬质涂层
工业领域:医学技术、电子束焊接、隔离真空、灯管制造
科研研发:聚变研究、等离子物理、基本粒子物理、生物技术
普发还提供了衍生版本:HiPace 1200 C(抗腐蚀版适配腐蚀性气体)、HiPace 1200 U(支持倒装安装),满足不同特殊工况需求。
涡轮分子泵HiPace 1200-2300|普发Pfeiffer产品优势:
1.抽速从1200-23001/s的全系列产品
2.安装角度可选0°-90°和90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围90-265V
6.获得SEMI S2,UL,CSA和TUV认证
7.防护等级IP54符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀,溅镀,分子泵耐粉尘9.集成分子泵控制器TC1200,可直接连接一般电源
我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等
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0755-28282893

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