LINTEC琳得科 MM-3102L 通用质量流量计
高性能数字质量流量控制器
高性能数字质量流量控制器，精度保证

LINTEC琳得科 MM-3102L 通用质量流量计

LINTEC琳得科 MM-3102L 通用质量流量计

质量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制领域的先驱

什么是质量流量控制器？Lintec 的功能

质量流量控制器 气体流量控制

臭氧质量流量控制器 OZ-1

臭氧质量流量控制器 OZ-1

质量流量控制器，臭氧气体运行一年质保

专用于臭氧气体的质量流量控制器，采用Lintec 独特的环境温度补偿传感器来控制具有高热分解特性的臭氧气体的流量。

即使长时间控制臭氧气体的流量，臭氧气体的浓度也不会改变（根据我们的研究）。

特征

可控制臭氧气体流量

精度±1% SP（校准气体）

清洁（无颗粒）

环境温度补偿传感器

EtherCAT 通信、DeviceNet 通信

选项

低压差兼容

范围广泛

使用示例

将臭氧发生器的气流输送至多个臭氧化学气相沉积设备和清洗设备。

臭氧具有强腐蚀性，且无法通过质量流量控制器（MFC）进行流量控制，因此传统上臭氧发生器的数量与臭氧气体需求点的数量相等。然而，通过使用OZ-1臭氧气体质量流量控制器来控制流量，该控制器可在流量测量过程中抑制热分解，从而可以使用单个臭氧发生器向多个需求点供应臭氧气体。

规格

温度

最小压差

最大压差

准确性

控制范围

文件系统

最大 FS

5至50摄氏度

50千帕

300千帕

±1% SP

2~100%FS

10SCCM

50SLM

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我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

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