LINTEC琳得科 MC-3102S 低压差流量控制器
高性能数字质量流量控制器
高性能数字质量流量控制器，精度保证

LINTEC琳得科 MC-3102S 低压差流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102S 低压差流量控制器

质量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制领域的先驱

什么是质量流量控制器？Lintec 的功能

质量流量控制器 气体流量控制

低压差质量流量控制器

低压差质量流量控制器

低压差质量流量控制器，最小工作压差为 800 Pa。

我们专有的环境温度补偿传感器具有低压损规格和±1%FS的精度，可降低压力损失。

独特的压电执行器阀可在低压差下实现精确的流量控制和稳定性。

MC-3102S

特征

低压差（800Pa）

工作温度 5-50℃

金属密封件

清洁（无颗粒）

环境温度补偿传感器

RS-485通信

选项

微流控FS

使用示例

低温下低蒸气压气体的流量控制

MC-3000S 是一款低压差质量流量控制器，采用其 的低压损结构，即使在室温下，只要二次侧处于真空状态，也能有效控制水等液态原料的流量。该控制器适用于诸如 ITO 溅射等工艺，因为这类工艺会向真空腔内输送少量水蒸气。此外，它还可以在室温下控制低蒸气压固体原料（例如 XeF2）的流量。

减压罐式容器（SDS容器）的流量控制

离子注入设备使用AsH3和PH3等特殊材料气体，为了安全稳定地供应气体，通常使用安全输送源（SDS）容器。SDS的充装压力低于大气压，因此需要一种能够在低压差下进行流量控制的流量控制器（MFC）。MC-3000S独特的低压损结构使其能够在 800 Pa（6 Torr）的压差下进行流量控制。

规格

温度

最小压差

最大压差

准确性

控制范围

 文件系统

最大 FS

海豹

5~50℃

800帕

133千帕

±1%FS

2~100%FS

2SCCM

30SCCM

奥

*规格表列出了质量流量控制器的通用规格。 可通过选件进行更改。

目录下载

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

Düsen-德国  Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德   ‌Bettersizer丹东百特  Teledyne FLIR YOKOGAWA横河    shimadzu島津  SIBATA柴田科学  NICHIRYO立洋 东丽TORAY  BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达  牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和  FUJIKIN  富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

SOKYO松野