LINTEC琳得科 MC-7200D 通用流量控制器
高性能数字质量流量控制器
高性能数字质量流量控制器，精度保证

LINTEC琳得科  MC-7200D 通用流量控制器

LINTEC琳得科  MC-7200D 通用流量控制器

质量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制领域的先驱

什么是质量流量控制器？Lintec 的功能

质量流量控制器 气体流量控制

高速响应质量流量控制器

高速响应质量流量控制器

响应时间为 200 毫秒的超高速质量流量控制器。

热式传感器可实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。Lintec独特的非接触式热式流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

SP 流量精度高达 ±1.0%，并可选择数字通信方式：DeviceNet 或 EtherCAT。

MC-7000

特征

超高速流量控制 200毫秒

精度±1%SP

工作温度 5-50℃

金属密封件

清洁（无颗粒）

环境温度补偿传感器

EtherCAT 通信

DeviceNet™ 通信

超高速流量控制

关闭的控制

脉冲响应

使用示例

高速蚀刻工艺

在半导体制造工艺中，对提高产能和实现小型化的需求日益增长。同时，对用于控制反应气体流量的质量流量控制器的启动（上升）时间也提出了更高的要求。超高速质量流量控制器[MC-7000]是一款非接触式热流量传感器，无需与被测气体接触，即可实现200毫秒的超高速响应。由于其非接触式设计，因此可以高速控制腐蚀性气体的流量。

规格

温度

最小压差

最大压差

准确性

控制范围

文件系统

最大 FS

海豹

5~50℃

50千帕

300千帕

±1% SP

2~100%FS

5SCCM

20SLM

奥

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我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

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