LINTEC琳得科 MC-3102L 质量流量控制器
高性能数字质量流量控制器
高性能数字质量流量控制器，精度保证±1%。

LINTEC琳得科 MC-3102L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102L 质量流量控制器

质量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制领域的先驱

什么是质量流量控制器？Lintec 的功能

质量流量控制器 气体流量控制

高性能数字质量流量控制器

高性能数字质量流量控制器

高性能数字质量流量控制器，精度保证±1%。

Lintec独特的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度流量测量。它能抑制传感器因受热而导致的性能下降，即使在臭氧等易分解气体环境下也能实现流量控制。

高性能、多用途数字质量流量控制器，还可以满足液化气体、分钟流量 FS、宽范围以及指定的面间距和接头间距等选项。

高性能质量流量控制器

特征

精度±1%SP

工作温度 5-50℃

金属密封件

清洁（无颗粒）

环境温度补偿传感器

RS-485通信

选项

微流控FS

液化气兼容

范围广泛

使用示例

半导体制造前端工艺

CVD（化学气相沉积）和 ALD 薄膜沉积设备及蚀刻设备中使用了高活性气体，因此具有高耐腐蚀金属密封的气体质量流量控制器是 的。

此外，许多前驱体在常温常压下呈液态，因此，阀门结构必须能够承受高温并防止再次液化。MC-3000L 高精度质量流量控制器可用于液化气体，最高工作温度为 50°C（可选 55°C）。

分析器

有时需要使用分析设备来控制微量流量，但典型质量流量控制器的最小流量精度为 5 SCCM，无法实现微量流量的控制。高精度质量流量控制器 MC-3000L 也可提供 1 SCCM 或更低流量精度的选配方案。详情请 

此外，高精度质量流量控制器 MC-3000L 标配死容积小的隔膜阀。

规格

温度

最小压差

最大压差

准确性

控制范围

 文件系统

最大 FS

海豹

5至50摄氏度

50千帕

300千帕

±1% SP

2~100%FS

5SCCM

400SLM

奥

*规格表列出了质量流量控制器的通用规格， 可通过选件进行更改。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

Düsen-德国  Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德   ‌Bettersizer丹东百特  Teledyne FLIR YOKOGAWA横河    shimadzu島津  SIBATA柴田科学  NICHIRYO立洋 东丽TORAY  BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达  牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和  FUJIKIN  富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

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