INFICON英福康 BPG402-Sx 大气压超高真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 BPG402-Sx 大气压超高真空计

INFICON英福康 BPG402-Sx 大气压超高真空计

 BPG402-Sx

热电离真空计BPG402-Sx

大气压至超高真空真空计

嵌入式选项

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更灵活、更好的稳定性

滑动发射模式、可拆卸校准芯片、电隔离电子元件、可选 OLED 显示屏（可 90° 旋转）等等。

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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。

好处

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁

双长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

符合 RoHS 标准

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O2, CO, N2) mbar

Torr 5×10-10 … 1000

3.8×10-10 … 750 

Accuracy     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15 

Repeatability     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading 5 

Temperature     

   Operation (ambient) °C 0 … +50 

Storage °C -20 … +70 

Bakeout at flange without electronics BPG402-S °C 80 

Bakeout at flange without electronics BPG402-SL °C 150 

Supply voltage V (dc)

A (dc) +20 … +28

≤0.8 

Materials exposed to vacuum   Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 

在此下载完整的规格

Part Number

Accessories

Spare Parts

                                                                                                     韩语

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

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