INFICON英福康 BPG400 大气压真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 BPG400 大气压真空计

INFICON英福康 BPG400 大气压真空计

 BPG400

热电离真空计BPG400

大气压至超高真空真空计

嵌入式选项

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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

好处

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

符合 RoHS 标准

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O2, CO, N2) mbar

Torr 5×10-10 … 1000

3.8×10-10 … 750 

Accuracy     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15 

Repeatability     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading 5 

Temperature     

   Operation (ambient) °C 0 … +50 

Storage °C -20 … +70 

Bakeout at flange with extension °C 150 

Bakeout at flange without extension °C 80 

Bakeout electronics removed °C 150 

Supply voltage V (dc)

A (dc) +20 … +28

0.8 

Materials exposed to vacuum   Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 

在此下载完整的规格

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number Description 

353-500 BPG400 DN 25 ISO-KF 

353-501 BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF 

353-502 BPG400 DN 40 CF-R 

353-503 BPG400 LCD, DN 40 CF-R 

353-505 BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF 

353-506 BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R 

353-507 BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF 

353-508 BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R 

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SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

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优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

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代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

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