INFICON英福康 倒置磁控真空计 MAG470
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 倒置磁控真空计 MAG470

INFICON英福康 倒置磁控真空计 MAG470

 MAG470

冷阴极真空计MAG470

倒置磁控真空计

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倒置磁控真空计MAG470适用于所有超高真空应用。测量范围为 5x10-11 mbar 到 1x10-2 mbar.

好处

无灯丝烧坏

扩展型版本, 传感器烘烤至 250°C

良好的点火属性

容易清洗

金属密封馈通

高压LED指示灯亮

对数模拟输出信号

典型应用

超高真空压力监测

蒸发和溅射系统的基本压力

中高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

MAG470

MAG470 extended

测量范围 (air, N2) mbar

Torr 5x10-11 … 1x10-2

3.8x10-11 … 7.5x10-3 

   精确度     

1x10-9 ... 1x10-3 mbar % of reading ≈±30 

   重复性     

1x10-9 ... 1x10-3 mbar % of reading ≈±5 

   温度     

操作 (ambient) °C +5 ... +55 

储存 °C -40 ... +65 

烘烤至 °C 250 1) 

   电压供应     

At gauge V (dc) +15 ... +30 

At supply unit with max. cable length (3) V (dc) +16 ... +30 

Ripple V (p-p) ≤1 

   功率消耗 W ≤2 

   材料   Stainless steel, Al2O3, Ag 

(1)无电子磁屏蔽

(2) 250°C在定义的区域中，请参见尺寸

(3) 电源的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加 

在此下载完整的规格

订货信息

零件号

附件

备件

MAG470 

零件号 描述 

399-360 MAG470 DN 40 CF-F, FCC 

MAG470 扩展型 

零件号 描述 

399-361 MAG470 DN 40 CF-F, extendet 

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数据表

MAG470 Inverted Magnetron Gaugepdf•299,5 KB•英文•数据表

手冊

该产品被用于以下市场

分析仪器

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