INFICON英福康 极皮拉尼复合真空计 MPG401
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 极皮拉尼复合真空计 MPG401

INFICON英福康 极皮拉尼复合真空计 MPG401

MPG40X

冷阴极真空计MPG40X

大气压至超高真空真空计

嵌入式选项

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INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

好处

复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼

从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围

不会出现丝极烧毁的现象

的点火属性

易于清洁

FPM 或金属密封馈入装置

LED 指示器，高压时亮起

对数模拟输出信号

典型应用

高真空压力监控

蒸发镀溅系统基本压力

中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

测量范围（空气，N2） mbar

Torr 5 x 10-9 … 1000

3.8 x 10-9 … 760

精度 (N2)

1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±30%

Repeatability

1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±5%

容许温度

运行（环境） °C +5 … +55

贮存 °C –40 … +65

烘烤 (1) °C 150

电源电压

真空计上 V (dc) +15 … +30

缆线最长的电源装置 (2) V (dc) +16 … +30

波纹 V (p-p) ≤1

功耗 W ≤2

暴露于真空的材料   stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

(1) 没有电子元件和磁屏蔽。

(2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。

在此下载完整的规格

Part Number

Accessories

Spare Parts

MPG400 FPM sealed

Part Number Description

351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF

351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF

351-012 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F

MPG401 metal-sealed

Part Number Description

351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF

351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF

351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F

351-023 Magnetic shield

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