INFICON英福康 XTC3/M 台式薄膜沉积控制器
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 XTC3/M 台式薄膜沉积控制器

INFICON英福康 XTC3/M 台式薄膜沉积控制器‍

 XTC/3

控制器XTC/3

*、经济的单层或多层速率控制

*的、经济实惠的单层或多层速率控制

现在，您可以在单层和多层工艺的薄膜沉积控制器中获得所需的一切。XTC/3 带有  ModeLock，提供跳模预防功能，确保获得始终如一的质量。通过 XTC/3 薄膜沉积控制器，您可以极其准确地控制沉积速度和厚度，能够达到几乎任何层数，安装轻松且可靠性 从而确保生产效率。

薄膜沉积控制领域的全球 INFICON，现在提供了一种拥有成本极低的仪表，为您带来 的价值。

无论您的控制需要属于生产还是研发领域，都能从 INFICON XTC/3 中找到 美的解决方案。

全球 INFICON 支持

无论您身在何处，都能获得快速的疑难解答和周到的服务，确保正常运行时 。INFICON 是 一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商，其办事处遍布全球。

功能

提供有单层和多层型号

  ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差

支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换，从而 生产力

XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源

XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源

易于阅读的 TFT LCD 图形显示器

可以为薄膜和过程分 的描述性名称，以便于检索

提供以太网连接

独立式（不需要计算机）或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件

插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）

典型应用

 光学镀膜

规格

XTC3/S

XTC3/M

测量频率范围 6.0 至 5.0 MHz（固定） 

  厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.034 埃 

  传感器输入数量 2 

  来源输出数量 2 

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹 

零件编号

XTC3 零件编号PDF•1.8 MB

配件

配件和替换件

耗材

姓名 描述 

前载式单传感器 前载式单传感器 

前载式双传感器 前载式双传感器 

冷藏抽屉单传感器 冷藏抽屉单传感器 

冷藏抽屉双传感器 冷藏抽屉双传感器 

简易速率单传感器 简易速率单传感器 

简易速率双传感器 简易速率双传感器 

ALD传感器 超高压可烘烤传感器 

超高压可烘烤传感器 溅射传感器 

溅射传感器 CrystalSix® 传感器 

CrystalSix® 传感器 Crystal 12®传感器 

Crystal 12®传感器 RSH-600旋转传感器 

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                             所有语言                                                                                                                                    德语                                                                                                                                                                    日语                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英语                                                                                      

手册

手册

3D文件

其他

该产品被用于以下市场

真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

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