INFICON英福康 ZevisionIMC300 沉积控制器
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 ZevisionIMC300 沉积控制器

INFICON英福康 ZevisionIMC300 沉积控制器‍

 Zevision® IMC300

控制器Zevision® IMC300

精密控制实现最大的重复性和 的晶体效率

INFICON IMC300 是下一代 Zevision 沉积控制器的一部分，它提供了当今光学镀膜机所需的全新 技术。

ModeLock™ 测量系统

INFICON Zevision IMC300 采用 INFICON ModeLock™ 测量系统，以最高的厚度精度、优良的测量分辨率和 的速率噪声最大限度地提高再现性和均匀性。ModeLock 测量系统可延长可用晶体寿命，从而最大限度地延长正常运行时间和吞吐量，在某些情况下，可延长频率计数控制器预期寿命的两倍以上。

轻松实现系统集成

与 INFICON Zevision IMC300 的系统集成快速而简单，具有向后兼容性、逻辑性和可选功能，可使用单个控制器同时运行多个源。INFICON Zevision IMC300 采用触摸屏前面板，具有易于浏览的菜单和直观的配方构建功能。由于在所有命令和响应中只使用 ASCII 可打印字符和清晰的开始和停止字符，因此大大简化了软件的编写。新的串行通信协议还具有帮助命令，无需参考操作手册即可了解可用命令。

升级和后续服务计划

现在，所有固件更新和硬件升级均可在现场进行，选件卡安装简单，固件更新可通过前面板 USB 端口进行。可选的输入/输出和 2 传感器 2 信号源测量板可用于现场安装，无需额外工具。

尽管 INFICON Zevision IMC300 的使用寿命长达数十年，但您可以放心，在可选的售后服务计划期限内，维修是免费的。如果您的 INFICON Zevision IMC300 需要维修，可选择 2 年或 4 年的售后服务计划，以延长标准 2 年保修期。如果 IMC300 有售后服务计划，则在仪器的整个使用期内需要维修时，可以提供借用设备。

优势

使用 ModeLock 测量系统，以最高的厚度精度、优良的测量分辨率和 的速率噪声，最大限度地提高再现性和均匀性 

利用 ModeLock（最长的晶体使用寿命）最大限度地增加运行次数，同时降低晶体消耗成本

通过向后兼容性、逻辑以及在单个流程中使用单个控制器同时运行多个源的可选功能，最大限度地降低集成成本，最大限度地提高集成速度

通过全球专家应用支持，最大限度地降低开发风险，优化系统性能

规格

测量   

晶体频率范围 6.0 to 4.5 MHz 

频率分辨率 ±0.00656 Hz @ 6 MHz 

频率精度 ±2.5 ppm 0 to 50°C 

测量率 10 Hz 

厚度和速率分辨率 ±0.008 Å and ±0.08 Å/s 

厚度精度 0.5% 

准确率 0.1% 

Download full specifications

备件

部件编号 说明 

051-1509S Power Supply AC Input Spare 

051-1510S Fuse Drawer Spare 

062-0128S Fuse Spare 

786-021-G1S Hardware Spare Kit 

786-210-G1S Front Panel Assembly IMC300 Spare 

786-211-G1S Chassis Weld Assembly Spare 

786-303-P1S Bottom Cover Spare 

786-304-P1S Top Cover Spare 

786-310-P1S Card Guide Top Spare 

786-311-P1S Partition Spare 

786-350-P1S Controller Card Faceplate Spare 

786-351-P1S Faceplate Blank Spare 

Zevision 零件编号配置器

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