东京计装TOKYOKEISO 半导体流量计 P-820
除了高度可靠的机械式现场指示器外，还配备了报警触点输出以满足各种需求。标准金属材料和全系列内衬材料覆盖几乎所有流体，包括高腐蚀性流体

东京计装TOKYOKEISO 半导体流量计 P-820

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 P-820

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流量测量

吹扫流量计其他阵容

与广受欢迎的 P-810 型号一样，P-820 也广泛应用于半导体生产。另有配备簧片开关式报警触点的型号可供选择。

目录和手册

P-820

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P系列吹扫流量计索引和快速参考

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*规格如有变更，恕不另行通知。

主要应用

半导体生产设备中的流量测量

规格

测量介质气体

液体（相当于水：密度1.0g/cm³，粘度1.0mPa·s） 

公称直径Rc: 1/4"(标准), 1/8"

NPT: 1/4", 1/8"

SW: 1/4", 3/8"

VCR: 1/4", 3/8" 

流量范围空气P-821：  最大 12 至 60 L/min(nor)

最小 0.5 至 5 mL/min(nor)P-823：  最大 6 至 60 L/min(nor)

最小 5 至 50 mL/min(nor)水P-821：  最大 0.4 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/minP-823：  最大 0.2 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/min·选择流量范围时，请参考“P系列吹扫计索引和快速参考"（TG-S0001）。 

流体温度最高 120°C（取决于垫片材料） 

流体压力最大0.8兆帕。 

准确性P-821：满量程的±5%

P-823：满量程的±3% 

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