东京计装TOKYOKEISO 气体流量计 P-810
除了高度可靠的机械式现场指示器外，还配备了报警触点输出以满足各种需求。标准金属材料和全系列内衬材料覆盖几乎所有流体，包括高腐蚀性流体

东京计装TOKYOKEISO 气体流量计 P-810

东京计装TOKYOKEISO 气体流量计 P-810

 P-810

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流量测量

吹扫流量计其他阵容

P-810 是测量半导体生产过程中各种气体流量的理想选择。周向密封确保了高可靠性。P

-810 在各种设备应用中拥有良好的业绩记录。

此外，还提供低泄漏的电解抛光型号。

目录和手册

P-810

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P系列吹扫流量计索引和快速参考

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*规格如有变更，恕不另行通知。

主要应用

半导体生产设备中的气体流量测量，特别是低泄漏管线

规格

测量介质气体

液体（相当于水：密度1.0g/cm³，粘度1.0mPa·s） 

公称直径Rc: 1/4"(标准), 1/8"

NPT: 1/4", 1/8"

SW: 1/4", 3/8"

VCR: 1/4", 3/8" 

流量范围空气：  最大 6 至 60 L/min(nor)

最小 5 至 50 mL/min(nor)水：  最大 0.2 至 2 L/min

最小 5 至 50 mL/min·选择流量范围时，请参考“P系列吹扫计索引和快速参考"（TG-S0001）。 

流体温度最高 120°C（取决于垫片材料） 

流体压力最大0.8兆帕。 

准确性±3% 满量程 

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