Fischione 新品发布1061 型 SEM 研磨机（离子研磨）

Fischione 新品发布1061 型 SEM 研磨机（离子研磨）

Fischione 新品发布1061 型 SEM 研磨机（离子研磨）

2025年5月21日近期我司推出了Fischione 新品发布1061 型 SEM 研磨机（离子研磨）断面站 用于创建原始横截面样品的工具，可在 SEM 铣削系统中进行离子铣削。该工位能够精确定位目标区域，并可用于多种材料，包括半导体器件、多层膜、陶瓷以及硬脆材料。可编程- 样品可360°旋转，转速可调，并具有样品摇动功能。仪器自动感应样品厚度并确定研磨平面，从而提高处理量。磁编码器提供绝对定位精度，研磨角度可在0至+10°范围内调节。

  Fischione 1061 型 SEM 研磨机（离子研磨）

以前的下一个

产品代码： 型号1061

制造商： Fischione

限度的维护 - 

 由于电离效率高，TrueFocus 离子源的维护成本极低，组件使用寿命极长。离子源溅射的物质几乎可以忽略不计，从而地减少了样品污染和组件维护。自动关闭功能可防止溅射物质在观察窗上堆积。所有系统组件均可轻松进行日常清洁。

可编程 - 样品可360°旋转，转速可调，并具有样品摇摆功能。仪器自动感应样品厚度并确定研磨平面，从而提高处理量。磁编码器提供绝对定位精度。

自动终止—— 离子铣削过程可以根据经过的时间或温度自动终止。 

时间 - 计时器允许研磨持续预定时间，并在时间到后关闭离子源电源。样品保持真空状态，直到负载锁排气。 

温度 - 如果样品阶段达到预设温度，与样品冷却系统相关的热保护装置将停止该过程。 

索取报价

添加比较

   提问

   给同事发送电子邮件

描述

横截面工作站（选配）

用于创建原始横截面样品的工具，用于在SEM研磨机中进行离子研磨。该工作站设计用于容纳各种尺寸的样品，并能够精确定位目标区域，适用于各种材料，包括半导体器件、多层膜、陶瓷以及硬脆材料。

现场 样品观察 使用可选的立体显微镜或高倍显微镜可以在铣削位置现场

监测离子铣削过程 。

可选配的立体显微镜（7 至 45 倍）可增强样品观察效果。显微镜的长工作距离允许在铣削过程中现场观察样品。 

SEM Mill 可配置 1,960 倍高倍显微镜，并配备 CCD 摄像头和视频监视器，用于在研磨过程中实时观察样品并捕捉图像。该系统非常适合现场制备样品。 

观察窗受百叶窗保护，可防止溅射物质的积聚干扰样品观察。 

集成式台面冷却（可选）

虽然低角度研磨和低离子束能量可以降低样品加热，但对温度敏感的样品可能需要进一步冷却。SEM 研磨机的液氮系统在外壳内配备一个杜瓦瓶，该杜瓦瓶 集成并互锁，可有效消除热致伪影。

真空或惰性气体转移舱（可选）

可选真空舱允许您在真空或惰性气体下将样品转移到 SEM。

网络研讨会：

点击此处- 通过宽离子束铣削进行先进的样品制备，用于 EBSD 分析

 1061 型 TEM 研磨机规格 

离子源 两个 TrueFocus 离子源 

 可变能量（100 eV 至 10 kV）操作 

 束流密度高达 10 mA/cm2 

 铣削角度范围为 0 至 +10˚ 

 选择单离子源或双离子源操作 

 独立离子源能量控制 

 手动或电动（可选）离子源角度调整 

 可调光斑尺寸 

 法拉第杯用于直接测量每个离子源的束电流；允许针对特定应用优化和调整离子源参数 

样品台 样本大小： 

 • 横截面* 

 最大：0.39 x 0.39 x 0.157 英寸（10 x 10 x 4.0 毫米）最小：0.12 x 0.12 x 0.028 英寸（3 x 3 x 0.7 毫米） 

 • 平面 

 直径 1.25 英寸 x 高 1 英寸（32 x 25 毫米） 

 自动样品厚度感应以确定铣削平面并 化吞吐量 

 360˚ 样品旋转，转速可变 

 样品摇动 

 磁编码器提供绝对定位精度 

横截面站（可选） 生成原始横截面样本 

 允许精确定位感兴趣的区域 - x、y 和 e 

 适用于多种材料，包括半导体器件、多层膜、陶瓷和硬脆材料 

 准备好的目标区域平坦且无损坏，便于后续的 SEM 成像和分析 

 可容纳多种样品和掩模尺寸： 

 • 样品和掩模在横向和角度上对齐 

 • 一个面膜可多次使用 

样品冷却（可选） 带有一体式杜瓦瓶和自动温度联锁装置的液氮传导冷却 

 温度优于 -170 °C 

 杜瓦瓶入口位于靠近仪器操作员的位置 

 能够编程并维持环境温度和低温之间的特定温度 

 选择： 

 • 标准杜瓦瓶容量（3 至 5 小时的低温条件） 

 • 扩大杜瓦瓶容量（18 小时以上的低温条件） 

自动终止 按时间或温度自动终止 

真空系统 涡轮分子拖曳泵和无油多级隔膜泵 

 采用冷阴极全量程真空计进行真空感应 

真空或惰性气体转移舱（可选） 允许在真空或惰性气体环境中转移或储存样品 

工艺气体 超高纯氩气 (99.999%)；要求标称输送压力为 15 psi 

 使用两个质量流量控制器进行自动气体控制 

用户界面 仪器操作通过 10 英寸、符合人体工程学的可调节触摸屏控制 

 用于从远处确定铣削操作状态的堆栈灯指示器（可选） 

显微镜（可选） 负载锁窗口可容纳以下显微镜： 

 • 7 至 45X 立体显微镜附件，可直接观察标本 

 • 525X 高倍显微镜和 CMOS（互补金属氧化物半导体）摄像系统，用于特定位置的图像采集和显示 

 • 1,960X 高倍显微镜和 CMOS 摄像系统，用于特定位置的图像采集和显示 

现场观察和成像 使用立体显微镜或高倍显微镜时，可以在铣削位置现场监测样品 

 观察窗受可编程快门保护，可防止溅射材料积聚，并保留原位观察样品的能力 

样品照明 高倍显微镜和立体显微镜均配有光源，可提供自上而下、用户可调节的反射样品照明 

外壳 宽度（包括两侧的服务通道空间：50 英寸（127 厘米） 

 高度： 

 •  （不含显微镜或堆叠灯选项）：32 英寸（61 厘米） 

 •  （带堆叠灯选项）：38 英寸（77 厘米） 

 深度（包括维修通道和排气扇气流空间）：40 英寸（102 厘米） 

 外壳设计方便在执行维护任务时轻松接触内部组件 

重量 161磅（73公斤） 

力量 100/120/220/240 VAC，50/60 Hz，720 W 

保修单 一年