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PRODUCT CLASSIFICATIONFischione 1061 型 SEM 研磨机(离子研磨)
Fischione 1061 型 SEM 研磨机(离子研磨)
Fischione 1061 型 SEM 研磨机(离子研磨)
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产品代码: 型号1061
制造商: Fischione
限度的维护 -
由于电离效率高,TrueFocus 离子源的维护成本极低,组件使用寿命极长。离子源溅射的物质几乎可以忽略不计,从而最大限度地减少了样品污染和组件维护。自动关闭功能可防止溅射物质在观察窗上堆积。所有系统组件均可轻松进行日常清洁。
可编程 - 样品可360°旋转,转速可调,并具有样品摇摆功能。仪器自动感应样品厚度并确定研磨平面,从而最大限度提高处理量。磁编码器提供绝对定位精度。
自动终止—— 离子铣削过程可以根据经过的时间或温度自动终止。
时间 - 计时器允许研磨持续预定时间,并在时间到后关闭离子源电源。样品保持真空状态,直到负载锁排气。
温度 - 如果样品阶段达到预设温度,与样品冷却系统相关的热保护装置将停止该过程。
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描述
横截面工作站(选配)
用于创建原始横截面样品的工具,用于在SEM研磨机中进行离子研磨。该工作站设计用于容纳各种尺寸的样品,并能够精确定位目标区域,适用于各种材料,包括半导体器件、多层膜、陶瓷以及硬脆材料。
现场 样品观察 使用可选的立体显微镜或高倍显微镜可以在铣削位置现场
监测离子铣削过程 。
可选配的立体显微镜(7 至 45 倍)可增强样品观察效果。显微镜的长工作距离允许在铣削过程中现场观察样品。
SEM Mill 可配置 1,960 倍高倍显微镜,并配备 CCD 摄像头和视频监视器,用于在研磨过程中实时观察样品并捕捉图像。该系统非常适合现场制备样品。
观察窗受百叶窗保护,可防止溅射物质的积聚干扰样品观察。
集成式台面冷却(可选)
虽然低角度研磨和低离子束能量可以降低样品加热,但对温度敏感的样品可能需要进一步冷却。SEM 研磨机的液氮系统在外壳内配备一个杜瓦瓶,该杜瓦瓶 集成并互锁,可有效消除热致伪影。
真空或惰性气体转移舱(可选)
可选真空舱允许您在真空或惰性气体下将样品转移到 SEM。
网络研讨会:
点击此处- 通过宽离子束铣削进行先进的样品制备,用于 EBSD 分析
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