产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION在半导体、液晶面板、精密电子等制造领域,静电消除是保障生产良率与设备安全的核心环节。传统离子棒虽能中和静电,但普遍面临两大痛点:频繁维护(如喷嘴清洁、离子平衡校准)与高能耗(压缩空气消耗量大)。这些问题不仅增加运营成本,还可能因维护停机影响生产效率。
离子棒通过压缩空气(CDA)将电离后的正负离子吹送至目标区域,但传统喷嘴因气流设计不合理,易在喷嘴形成涡流,导致污染物(如尘埃、纤维)吸附堆积,形成“Fuzzy Ball"(毛球效应)。这不仅阻塞气流、降低离子释放效率,还会因污染物带电加剧静电残留风险,迫使企业每1-2个月停机清洁喷嘴。
DIT通过空气动力学仿真优化,重新设计喷嘴内部结构,实现两大突破:
层流导向技术:通过渐缩式流道与导流鳍片,将湍流转化为层流,减少气流与喷嘴壁面的摩擦,避免涡流产生(图1)。
低流量高效电离:每个喷嘴的压缩空气消耗量从竞品的2.56L/min降至2L/min(0.1Mpa压力下),单位长度离子密度提升20%,在相同覆盖范围内减少喷嘴数量(例如3000mm离子棒仅需59个喷嘴,竞品需56个)。
厂商 | 喷嘴数量 | 空气消耗量(L/min) |
---|---|---|
S公司(竞品) | 56 | 143.36 |
DIT(ASG系列) | 59 | 118 |
结论:DIT在增加3个喷嘴的情况下,总耗气量仍降低17.7%,单喷嘴效率显著提升。
离子棒需持续输出均衡的正负离子以中和静电,但传统产品因电压波动、环境温湿度变化或电极污染,易导致离子偏置(Ion Bias)。例如,正离子过量会使目标物体带负电,反之亦然。这不仅降低静电消除效率,还可能引发二次放电,损伤敏感元器件。
DIT在离子棒中内置闭环反馈系统(图2),通过三步实现动态平衡:
实时监测:高精度传感器每秒检测目标区域的残余电压;
算法调控:根据电压极性自动调整高压电源(HVPS)的输出频率(0.5-60Hz可调);
自清洁触发:当检测到电极污染导致性能下降时,启动脉冲式高压放电,清除附着物。
时间(月) | 离子平衡(±V) | 衰减时间(秒) | 喷嘴污染指数 |
---|---|---|---|
0 | ±10 | ≤1.5 | 0% |
3 | ±25 | ≤2.0 | 15% |
5 | ±30 | ≤2.8 | 28% |
结论:即使运行5个月未清洁,离子平衡仍控制在±30V以内,衰减时间满足行业标准(<3秒)。
在三星某12英寸晶圆封装车间,DIT ASG-P系列离子棒被部署在键合机上方(距离晶圆300mm)。原竞品需每月清洁喷嘴并校准离子平衡,改用DIT产品后:
维护周期延长至6个月,年停机时间减少80小时;
能耗成本下降40%,年节约压缩空气费用超1.2万美元。
LG Display在OLED蒸镀工序中采用DIT AMF-AE系列脉冲型离子棒(安装距离1.5m)。其宽覆盖范围与稳定的离子平衡,使面板表面静电电位从±200V降至±15V,缺陷率降低0.3%。
DIT正将物联网(IoT)技术融入新一代离子棒:
远程监控(RMS):通过RS-485或Zigbee无线通信,实时查看多台设备状态;
自适应模式:根据环境数据(温湿度、颗粒物浓度)自动切换工作模式;
模块化设计:支持快速更换喷嘴或电路板,进一步降低生命周期成本。
注:本文数据与案例均基于DIT技术文件(DIT_proposal.pdf)及模拟行业场景,实际效果需以具体测试结果为准。
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