山金 APPLICS株式会社 臭氧气体监测器
我们的溶解臭氧计采用独特的电池结构，不易产生气泡，并具有出色的耐压性。
此外，它还拥有 的易用性，体积小巧、重量轻、操作简便，并可使用校准板轻松进行校准。
如需集成标准单位以外的测量仪器，请与我们联系。

山金 APPLICS株式会社 臭氧气体监测器

山金 APPLICS株式会社 臭氧气体监测器‍

APPLICS 总部位于日本东京，是专注液体 / 气体浓度分析仪器的日系专业厂商，核心强项：溶解臭氧、溶解氢在线监测仪表，半导体行业超纯水、臭氧水洗制程配套非常普及，和 DKK 东亚电波、HORIBA 同属半导体湿法水质分析仪表赛道。

定位：半导体晶圆清洗、臭氧纯水工艺专用在线分析仪，很多日系湿法设备原厂配套标配品牌。

✅溶解臭氧浓度计 核心产品（两大系列）

1. OZL-UW 系列（在线式，半导体 ）

原理：紫外吸收法（UV），测量水中溶解臭氧

• 量程可选：0~10、0~60、0~120、0~240 mg/L

• 特点：独特流通池结构，抗气泡干扰强，不怕管路气泡造成读数漂移；耐压好，可直接接入工艺管路；光源寿命长，维护量低；分体式：变送器表头 + 检测流通池

• 信号输出：DC4-20mA、RS232C，带报警触点，对接机台 PLC

• 材质：接触液路 PTFE/PFA，适配半导体 UPW、臭氧清洗水

• 供电：DC24V（设备配套常用）

2. OM-101P 系列（便携式溶解臭氧检测仪）

• 现场取样检测，用于设备调试、点检、离线验证，实验室 / 现场验收使用

3. OD-UND 系列（小型一体化在线款）

紧凑型，适合狭小机台内部空间安装，多用于机台内置臭氧水监测

✅核心优势（半导体场景重点）

1. 抗气泡：自研流通池，湿法臭氧水洗管路气泡是最大痛点，这款对气泡容错能力优于很多竞品；

2. 液路材质 PFA/PTFE，低析出，满足半导体高纯度水工艺；

3. 紫外法，精度稳定，对比电化学电极，漂移小，长期工艺稳定性好；

4. 维护简单，可简易校准，光源更换周期长；

5. 日系设备原厂配套选型，兼容性好，和 CDU、臭氧清洗机配套。

✅适用行业

✅主力：半导体晶圆湿法清洗、臭氧超纯水系统（UPW）；其次：液晶面板、制药、食品臭氧水杀菌、功能水行业。

✅竞品对标

• HORIBA 堀场、DKK 东亚电波、Ebara 荏原臭氧分析仪

✅业务机会（对你山金工业）

目标客户：半导体湿法清洗设备厂、晶圆厂、面板厂，机台臭氧水洗回路，用于监测 O₃浓度闭环控制。

推荐话术：APPLICS 日本在线溶解臭氧浓度计，紫外吸收法，抗气泡干扰，PFA 液路低金属析出，适合半导体臭氧超纯水、晶圆清洗工艺，分体式结构，DC24V 供电，4-20mA 信号输出，可配套湿法清洗机、CDU 系统。

✅询价模板可直接复制

APPLICS 株式会社 在线溶解臭氧浓度计型号：OZL-UW（注明量程），紫外吸收法，分体式，PFA 液路，DC24V 供电，4-20mA+RS232C 输出；用于半导体臭氧超纯水监测；请提供报价、货期、规格书、材质证明。

非指示式传输型溶解臭氧浓度计，分体式

产品名称

非指示式传输型溶解臭氧浓度计，分体式

模型

OD-UND-010/030/060/120

测量范围

请选择 0-10/30/60/120 mg/L 中的一个范围。

测量方法

紫外吸收法

标准输出

DC 4-20mA 输出，

灯管劣化，开集电极输出

评论

该检测单元本身带有预制接头，可直接连接管道。

（请咨询兼容的管道制造商。）

检测器：防溅型 DC24V

用

产品信息

臭氧气体监测器

它配备了全新研发的传感器，对温度和湿度等环境因素的敏感性更低。

此外，更换传感器只需进行简单的调整，因此维护起来非常方便。

恒电位电解臭氧气体监测器

产品名称

恒电位电解臭氧气体监测器

模型

OZG-EM-010K/011K（AC100V 型）

OZG-EM-210K/211K（DCV24V 型）

*照片所示为 OZG-EM-010K 型号。

测量范围

0 至 1/10 ppm，量程 1

测量方法

恒电位电解法

标准输出

直流4-20mA输出

报警输出1c

评论

可以使用传感器延长线延长传感器单元

。*电源线不包含在内。

规格