原装代理 INNODIS一诺迪思 自动气动阀
初次投产前使用超纯水循环冲洗泵体内部，去除加工残留微粒；输送强腐蚀药液停机后，必须用 UPW 纯水置换冲洗泵腔，避免药液结晶腐蚀膜片

原装代理 INNODIS一诺迪思 自动气动阀

原装代理 INNODIS一诺迪思 自动气动阀‍

流量计

涡轮式数字流量计

特征

它结构简单，便于操作和检查，可以显示瞬时流量和累积流量，并可使用 4-20mA 或触点输出信号。

结构简单，使用和维护方便，显示瞬间流量和累计流量，可使用4-20mA或切点输出信号。

它结构简单，易于操作和检查，可以显示瞬时和累积流量，并可使用 4-20mA 或触点输出信号。

该装置结构简单，易于操作和进行日常检查。它能够显示瞬时流量和累计流量，并可使用 4-20mA 或继电器输出信号。

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 # INNODIS 一诺迪思 VCH-E12iE-M1（山金工业原装代理）

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> VCH 系列：**PFA 气动高纯球阀（角行程 90° 旋转球阀，不是隔膜阀！这点和 IMVD/IMVB3 隔膜阀核心区分）**

## ✅型号拆解 VCH-E12iE-M1

- **VCH**：系列代号，**二通 PFA 气动球阀**（旋转式球阀，大通径，流通能力 ）

- **E12**：配管规格 **φ12mm（1/2"）**，适配 1/2"PFA 管路

- **iE**：Mega-Lock 入珠式接头（INNODIS 锁紧结构，抗震动防松脱）

- **M1**：**单作用气动执行器（弹簧复位）**

  - M1 = 单作用（通气开，断气弹簧复位关闭 NC 常闭）

  - M2 = 双作用（双气控，无弹簧）

## ✅核心参数

- 阀体 / 球体：高纯 PFA；阀座：PTFE，**介质侧 无金属浸润，低金属析出，SEMI 标准**

- 驱动：单作用气动，气源 CDA 洁净压缩空气，驱动气压 0.4~0.6MPa

- 介质：HF 、TMAH、各类强酸强碱、UPW 超纯水、半导体腐蚀性药液

- 工作温度：0~90℃

- 最大流体压力：0.5MPa

- 流道：**全通径直通流道**，几乎无节流，流量远高于 IMVD/IMVB3 隔膜阀

- 洁净等级：Class100 百级洁净装配、真空包装

- 可选配件：可加装阀位反馈传感器（V 后缀），信号回传 PLC 做联锁监控

## ✅VCH 球阀 VS IMVD / IMVB3 隔膜阀（重点对比，3 款阀门汇总）

表格

| 型号 | 品类 | 定位 | 流量 | 推荐安装位置 |

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| VCH-E12iE-M1 | PFA 气动球阀 | 大通径开关阀 | ⭐⭐⭐⭐⭐最大 | CDU 总主管、大流量药液输送主回路 |

| IMVB3-T12I | PFA 气动隔膜阀 | 大流量隔膜阀 | ⭐⭐⭐⭐ | CDU 分支主路 |

| IMVD-F12ICF1-2-S1 | PFA 紧凑型隔膜阀 | 小型分支阀 | ⭐⭐⭐ | 支管、狭小空间小流量回路 |

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> 关键差异：球阀是直通全通径，压降极小；隔膜阀流道有隔膜阻挡，压降更大。**大流量主管道优先选 VCH 球阀；支管小流量、需要  CIP 清洗，优先隔膜阀**。

> 注意：球阀虽然流量大，但**阀腔存在微小死区**，对于需要频繁 CIP 冲洗、微量药液置换的工况，一般选用隔膜阀。

## ✅产品优势

1. Mega-Lock 入珠锁紧接头，抗震动，半导体机柜长期运行不易漏液；

2. PFA+PTFE 高纯材质，耐全部湿法强腐蚀药液，低离子析出；

3. 全通径结构，流体阻力极低，适合大流量药液输送；

4. 单作用弹簧复位，断气自动关阀，满足安全联锁需求；

5. 模块化设计，维修方便。

## ✅适用场景

半导体 CDU 化学供液柜、湿法清洗设备**大流量药液主管路**；面板、光伏腐蚀药液输送。

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> 客户矩阵多元：如果他们机台有大流量药液输送总管，VCH 这款是主管优选；分支管路用 IMVB3，狭小支管 IMVD。

## ✅询价条目（直接复制）

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> INNODIS 一诺迪思 PFA 气动球阀

> 型号：VCH-E12iE-M1；φ12（1/2"）Mega-Lock 入珠接头；PFA 气动二通球阀，单作用弹簧复位常闭 NC；耐 HF、TMAH、酸碱、超纯水；最高 90℃；

> 需求：报价、货期、材质证明、SEMI 认证、产品规格书；如需阀位反馈请确认加价。

## ✅选型提醒

1. VCH 是**球阀**，不是隔膜阀，选型要区分死区要求；

2. M1 = 单作用弹簧复位（常闭 NC）；M2 为双作用；

3. 接口为 Mega-Lock 入珠式，需要配套 INNODIS 入珠 PFA 管件。

我们这边是家日本综合商社，做日货工业品这款 我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮、NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC、S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学、AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器、IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机、SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等。

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等。