原装代理 INNODIS一诺迪思 自动隔膜阀
初次投产前使用超纯水循环冲洗泵体内部，去除加工残留微粒；输送强腐蚀药液停机后，必须用 UPW 纯水置换冲洗泵腔，避免药液结晶腐蚀膜片

原装代理 INNODIS一诺迪思 自动隔膜阀

原装代理 INNODIS一诺迪思 自动隔膜阀‍

流量计

涡轮式数字流量计

特征

它结构简单，便于操作和检查，可以显示瞬时流量和累积流量，并可使用 4-20mA 或触点输出信号。

结构简单，使用和维护方便，显示瞬间流量和累计流量，可使用4-20mA或切点输出信号。

它结构简单，易于操作和检查，可以显示瞬时和累积流量，并可使用 4-20mA 或触点输出信号。

该装置结构简单，易于操作和进行日常检查。它能够显示瞬时流量和累计流量，并可使用 4-20mA 或继电器输出信号。

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 # INNODIS 一诺迪思 IMVM-F34iE-V1（山金工业原装代理）

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> IMVM 系列：**大口径 PFA 气动隔膜阀**，属于 IMVD/IMVB3 的升级大尺寸版本，半导体 CDU 柜大流量药液管路主力隔膜阀。

## ✅型号拆解 IMVM-F34iE-V1

- **IMVM**：系列代号，大流量 PFA 气动隔膜阀

- **F34**：配管规格 **φ34mm（1"）**，1 寸管路

- **iE**：Mega-Lock 入珠式 锁紧接头，抗震动防松脱，半导体药液管路标配

- **V1**：**内置阀位反馈传感器**，可向 PLC 回传阀门开 / 闭状态，实现机台联锁、报警监控（S1 = 不带反馈）

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> 驱动配置：IMVM 默认**单作用弹簧复位 NC 常闭（通气打开，断气自动关闭）**，订货可确认常开版本。

## ✅核心参数

- 阀体：高纯 PFA；隔膜膜片：PTFE；**介质侧 无金属浸润，低金属离子析出，满足 SEMI 标准**

- 驱动气源：CDA 洁净干燥压缩空气，驱动气压 0.4~0.6 MPa

- 适用介质：HF  、TMAH、强酸强碱、UPW 超纯水、各类半导体腐蚀药液

- 工作温度：0~90℃

- 最大流体压力：0.5MPa

- 流道：平 ，支持 CIP 在线冲洗，适合药液置换

- 洁净等级：Class100 百级洁净室装配、真空单独包装

- 特点：带 V1 阀位反馈，机台控制系统可实时读取阀门状态，湿法设备安全联锁 

## ✅四款一诺迪思阀门汇总对比（IMVD / IMVB3 / IMVM / VCH）

表格

| 型号 | 品类 | 通径 | 定位 | 流量 | 核心特点 | 推荐位置 |

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| IMVD-F12ICF1-2-S1 | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 紧凑型小阀 | ⭐⭐ | 体积小巧，省空间，无阀位反馈 | 支管、狭小取样回路 |

| IMVB3-T12I | PFA 气动隔膜阀 | 1/2" | 中流量隔膜阀 | ⭐⭐⭐⭐ | 标准大流量隔膜阀 | CDU 分支主管 |

| **IMVM-F34iE-V1** | **PFA 气动隔膜阀** | **1"** | **大口径隔膜阀** | ⭐⭐⭐⭐ | 1 寸大通径，带阀位反馈， CIP** | CDU 柜主药液输送管路 |

| VCH-E12iE-M1 | PFA 气动球阀 | 1/2" | 大通径球阀 | ⭐⭐⭐⭐⭐ | 全通径，压降极小，存在微小死区 | 大流量主管路（不频繁 CIP 场景） |

## ✅产品优势

1. Mega-Lock 入珠锁紧接头，长期设备震动工况不易松脱漏液；

2. PFA+PTFE 高纯氟塑料，耐强腐蚀药液，低析出，适配晶圆高纯度制程；

3 流道，可 CIP 在线清洗，减少药液残留交叉污染；

4. **V1 自带阀位反馈**，机台 PLC 实时监控阀门状态，满足半导体设备安全联锁要求；

5. 膜片可单独更换，维保备件成本低。

## ✅适用场景

半导体 CDU 化学品分配单元、湿法清洗设备**1 寸大药液主管路**；面板、光伏腐蚀药液输送回路。

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> 客户矩阵多元：如果他们机台有 1 寸大流量药液输送、且需要 CIP 清洗 + 阀位信号反馈，优先选用 IMVM 这款。

## ✅询价条目（直接复制发给供应商）

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> INNODIS 一诺迪思 PFA 气动隔膜阀

> 型号：IMVM-F34iE-V1；φ34mm（1"）Mega-Lock 入珠接头；PFA 阀体 + PTFE 隔膜；单作用弹簧复位常闭 NC；**内置 V1 阀位反馈**；耐 HF、TMAH、酸碱、超纯水；最高 90℃；

> 需求：报价、货期、材质证明、SEMI 认证、产品规格书。

## ✅选型提醒

1. V1 = 带阀位反馈；S1 版本无反馈，无法给 PLC 回传信号；

2. 接口是 Mega-Lock 入珠式，管路必须配套 INNODIS 入珠 PFA 管件；

3. IMVM 是隔膜阀，对比 VCH 球阀优势：流道 ，适合频繁 CIP 清洗药液管路。

我们这边是家日本综合商社，做日货工业品这款 我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮、NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC、S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学、AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器、IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机、SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等。

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等。