山金代理 INNODIS一诺迪思 PFA气动阀
初次投产前使用超纯水循环冲洗泵体内部，去除加工残留微粒；输送强腐蚀药液停机后，必须用 UPW 纯水置换冲洗泵腔，避免药液结晶腐蚀膜片

山金代理 INNODIS一诺迪思 PFA气动阀

山金代理 INNODIS一诺迪思 PFA气动阀‍

INNODIS一诺迪思PFA气动阀是韩国INNODIS品牌推出的高纯耐腐蚀气动隔膜阀系列，专为半导体、面板等高洁净强腐蚀流体场景设计，国内由山金工业（深圳）有限公司等代理分销，是高纯化学品输送系统的核心控制部件。

核心产品系列与型号

‌IMVD系列紧凑型单作用气动隔膜阀‌：主打小通径高精度场景，覆盖1/8"~1"全规格，代表型号包括IMVD-F1iCF4-V1、IMVD-F6mCF4-V1、IMVD-F19mCF3-V1、IMVD-F25mCF3-V1，适配微量药液控制、取样回路、主输送管线等不同流量需求，部分V1版本内置无源微动开关，可直连PLC实现阀位监控与工序联锁报警。

‌IF90/IF95系列大流量气动隔膜开关阀‌：采用Mega-Lock入珠接头结构，适配大尺寸PFA软管，通径覆盖常规管路规格，纯气动二位式开关控制，不带比例调节，适用于半导体晶圆制程、刻蚀清洗药液输送等大流量管路场景。

核心技术参数

‌材质配置‌：介质过流部件阀体为高纯PFA， 合SEMI-F57标准，低金属离子析出；隔膜片采用改性PTFE复合材质，可单独备件更换，开关寿命≥300万次；外部气缸壳体为玻纤增强PP，复位弹簧采用SUS316不锈钢，实现介质与气动部件完 隔离。

‌工况性能‌：常规工作压力0~0.6MPa，使用温度0~80℃，驱动气源要求0.4~0.6MPa过滤后的洁净压缩空气，避免油雾污染隔膜片。

‌结构设计‌：流道 设计，大幅减少药液残留与颗粒析出；Mega-Lock入珠密封结构，零泄漏连接，适配Class 100及以上超净环境。

典型应用场景

广泛用于半导体湿法设备、化学供液柜、显影蚀刻药液输送、超纯水回路，同时覆盖LCD/OLED面板产线、生物医药无菌流体管路、光伏锂电腐蚀液输送等对洁净度和耐腐蚀性要 的场景。

安装与维护要点

阀体优先水平安装，气缸朝上，不建议倒置安装，避免药液渗漏污染气缸；接口必须使用对应INNODIS入珠珠子装配，严禁暴力拧动接头防止阀体开裂泄漏。

PTFE隔膜属于消耗件，高频开关工况需定期点检，出现发白、褶皱、划痕时必须更换备件；拆卸阀门前需 泄压排空管路药液，禁止超温超压运行，防止PFA阀体高温蠕变引发内漏。

INNODIS一诺迪思是一家来自韩国的专业高纯流体控制零部件制造企业，在半导体等 制造领域应用广泛。

一、品牌基础信息

‌成立背景‌：2004年在韩国成立，2015年正式进入中国市场，核心技术精度可达1/1000级别。

‌行业定位‌：专注为半导体、LCD面板等产业提供高纯流体控制核心零部件，产品通过SGS相关认证。

‌合作客户‌：已获得LG Display、三星电子等多家国际 高新企业的认可。

二、核心产品线

‌阀门类‌

包含PFA气动隔膜阀、PVC气动自动阀、手动阀等多个系列，覆盖紧凑型、大口径全规格。

阀体多采用UPVC、PFA等耐腐材质，部分型号内置一体式位置传感器，断气可自动复位关阀。

‌接头类‌

提供PFA材质接头，支持入珠、扩口、焊接等多种连接方式，分英制、公制两类标识。

‌流量计类‌

推出IF系列超微量玻璃流量计，有铝合金、全316不锈钢、PFA全氟防腐等多个材质版本。

‌泵类‌

包含小型风囊泵等产品，全流道采用PFA/PTFE材质，无金属接触药液，适配高纯药液输送场景。

三、典型应用场景

半导体湿制程：晶圆蚀刻、清洗、显影设备的酸碱药液管路通断控制。

锂电新能源：电解液、超纯水输送管路的自动化通断与产线联动控制。

电镀酸洗行业：镀液、除锈酸液循环管路的耐腐蚀开关控制。

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