山金工业 SURPASS超越 液体流量计
这是一个小型显示单元，可以将压力传感器信号转换为压力值。
前面板符合 IP66 防尘防水标准。
它具有模拟输出。
它有两个上限和下限（HI 和 LO）以及继电器触点输出。

山金工业 SURPASS超越 液体流量计 

山金工业 SURPASS超越 液体流量计 ‍

无脉动管泵

我们 的 FreeWing 机制使我们能够制造出无脉动的管泵。

技术细节请参见下文。

尽量减少死体积，避免浪费宝贵的液体

虽然安装阻尼器是抑制管泵脉动的常用方法，但阻尼器本身会变成死容积，浪费宝贵的流体。

FW系统仅通过滚轮运动消除脉动，无需阻尼器。这最大限度地减少了死容积，防止了宝贵流体的浪费。

易于维护

管泵的主要维护工作是更换管路。FW 型号具备两项维护功能，使管路更换更加便捷。

导管更换时间通知

管路置换模式

随着管道老化，流量会逐渐下降。该系统会监测流量下降的程度，并在流量低于特定水平时发出通知，提醒您更换管道。这有助于防止管道破裂和其他因长期使用而引起的问题。

传统管式泵由于滚轮会压扁管子，因此更换管子很困难。而FW系列泵则采用管子更换模式，滚轮移动到不与管子接触的位置，从而使更换管子变得轻松便捷。

增强的安全功能，让您安心无忧

它还具备 的安全功能，因此您可以安心使用。

检测过压

防止空转

过压检测功能利用内置压力传感器监测压力是否过高，并在压力过高时自动停止运行。这可以防止因忘记打开阀门或过滤器堵塞而导致的管道破裂等事故。

通过连接外部流量计，如果一段时间内没有液体供应，防空转功能会自动停止运行。这可以最大限度地减少因忘记连接管道等原因造成的液体泄漏。它还可以用作液体供应完成后自动停止的功能。

可通过计算机操作

通过连接 USB 数据线并安装固件控制软件，即可通过计算机控制固件。

使用固件控制软件可以执行以下操作。

FW 控制

您可以执行与 FW 单元控制面板相同的操作。

您可以使用图形化且易于理解的界面更改设置。

您可以使用定时器自动执行简单的操作。

固件监控

您可以实时监测压力。

监测到的数据可以保存为 CSV 文件。

阵容

实验室简易型

这是流量范围更广的新产品。

这种实验室一次性泵省略了泵本身的控制面板，因此可以通过电脑进行操作。

面板式一次性产品（按需定制）

它采用简单的配置，没有显示屏或控制按钮。它可以安装在面板上，因此适合集成到设备中。

模型

分类

模型

流速范围

如何操作

实验室简易型

FW3-LS-25

20–1000 μL/分钟

个人电脑

FW3-LS-80

0.2–10 毫升/分钟

FW3-LS-240

2–100 毫升/分钟

面板一次性型

*按订单生产

FW3-PS-25

20–1000 μL/分钟

通信/PC

FW3-PS-80

0.2–10 毫升/分钟

FW3-PS-240

2–100 毫升/分钟

> 日本 **SURPASS INDUSTRY CO.,LTD.**（超越工业），1982 年成立，总部埼玉县，是**半导体高纯药液流体综合器件原厂**，SEMI 协会会员，专注氟树脂流体测量与控制，产品覆盖流量计、流量控制器、压力传感器、压力表、调压阀、快速接头；山金工业为代理，常与 INNODIS 阀泵、Ashizawa 研磨机、NIKKATO 日陶陶瓷配套用于 CMP、湿法清洗、锂电研发产线。

## 一、企业核心技术背景

依托**溅射薄膜传感技术、氟树脂成型技术、半导体化学工艺积累**，重点攻克三大痛点：**耐强化学腐蚀、抑制气体渗透泄漏、降低颗粒析出**；产品全部接液采用 PFA / PTFE‑CNT / PEEK / 石英玻璃，介质全程不接触金属，适配 HF 、各类强酸强碱、臭氧水、CMP 浆料、超纯水等严苛药液工况Surpass In...。

## 二、流量计全系列（主力产品线）

### 1. ERL 系列｜卡曼涡街‑压电检测（无显示内置型）

- 原理：卡曼涡街 + 压电检测

- 流量：0.3‑40 L/min；接液 PFA

- 特点：超薄小巧，无显示屏，脉冲 / 模拟输出；可密集并排安装，节省设备机箱空间；性价比高，无运动磨损部件

- 适用：机台设备内部集成，超纯水、普通酸碱药液

### 2. ESF / ESL 系列｜卡曼涡街‑超声波检测（带数显）

- 原理：卡曼涡街，**超声波非接触检测漩涡**，传感元件不侵入流道

- 流量：0.5‑18 L/min；接液 PFA；自带本地数字显示屏，支持流量上下限报警输出

- 特点：流路洁净，减少颗粒污染；方便机台面板现场目视监控

- 适用：半导体清洗、刻蚀药液回路サーパス工...

### 3. DPMX 系列｜差压式药液流量计（耐气泡）

- 原理：差压检测

- 流量：10 mL/min‑1000 mL/min；接液 PFA

- 特点：对管路气泡兼容性远优于涡街；电缆可拔插，维护方便；模拟量输出

- 适用：容易夹带气泡的化学药液、中小流量工艺回路

### 4. NTF 系列｜TOF 热式**超微量流量计**

- 原理：热标记 TOF 飞行时间法

- 流量：  5 μL/min 起**（微升级）；接液石英玻璃 + PTFE

- 特点：直通流路、死体积极小，自带数显，支持 PC 通讯

- 适用：实验室研发、微量药剂添加、小试回路Surpass In...

### 5. Z 系列｜一体式液体流量控制器 FIC（闭环自动稳流）

- 原理：检测单元 + 内置电动调节阀 + 控制单元一体化

- 流量：5 mL/min 起；接液 PFA，可选**无 O‑Ring 洁净版本**进一步降颗粒

- 通讯：RS485、CC‑Link 总线；配套 PC 软件做参数设定、数据记录、报警；闭环自动恒定流量

- 适用：半导体产线需要精准自动控流的工艺管路，无需额外配调节阀

## 三、配套流体器件（同品牌完整方案）

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等