山金 SURPASS超越 液体流量计
这是一个小型显示单元，可以将压力传感器信号转换为压力值。
前面板符合 IP66 防尘防水标准。
它具有模拟输出。
它有两个上限和下限（HI 和 LO）以及继电器触点输出。

山金 SURPASS超越 液体流量计

山金 SURPASS超越 液体流量计

特征

放大器部分和振膜部分是可分离的。

流体通过的隔膜是一次性的，因此可以始终在清洁状态下进行测量。

放大器部分

横膈膜

放大器部分 + 振膜部分

DPS2 型放大器和振膜采用一触式连接系统；只需将振膜推入并旋转即可。

可提供灭菌服务

可采用伽马射线灭菌、EOG灭菌和高压蒸汽灭菌。（*取决于产品型号）

简易管道

这些接头采用鲁尔锁倒钩接头，这是科学和医疗设备中的标准接头。

它安装起来非常方便。

满足多种需求

根据产品型号的不同，可以测量以下范围内的压力：0 至 300 kPa、-200 mmHg 至 800 mmHg 和 0 至 1 MPa。

采用贯通式设计的产品消除了隔膜中的液体储液区，从而防止了因液体停滞而引起的问题。

它被用于细胞相关分析仪器、工业设备、通用过程监测等领域。

面板安装规格，非常适合集成到设备中。

该放大器的形状适合集成到设备中。

我们提供三种类型的隔膜接头：1/2"、“3/8"、“倒钩接头"和鲁尔锁接头。

这三种类型都能测量 0 到 300 kPa 的压力，因此您可以选择 您管道需求的那一种。

兼容专用适配器 V-KIT

使用专用的V-KIT适配器，只需通过USB接口将其连接到电脑即可供电。无需准备24V电源，使用起来非常方便。

此外，您还可以监控电脑上的压力，并将压力数据导出为 CSV 文件。

有助于系统自动化

DPS系列具有专为集成到设备中而设计的功能，有助于系统自动化。

除了压力值的模拟输出外，它还有用于检查压力传感器状态的状态输出信号线和用于启动零点调整的零点调整输入信号线。

阵容

表压类型

模型

放大器部分：DPS2-AP-P3

隔膜部分：DPS2-P

额定压力：0-300 kPa

连接方式：一触式

接口：鲁尔锁

伽马射线灭菌、EOG灭菌和高压灭菌。

复合压力型

模型

放大器部分：DPS2-AP-M8

隔膜部分：DPS2-M

额定压力：-200 至 800 mmHg

连接方式：一触式

接口：鲁尔锁

伽马射线灭菌、EOG灭菌和高压灭菌。

通孔式

模型

放大器部分：DPS2-AP-BT3

隔膜部分：DPS2-BT

额定压力：0-300 kPa

连接方式：一触式

关节：竹笋

伽马射线灭菌和EOG灭菌兼容。

隔膜部分采用贯通式结构，没有液体储罐。

耐高压型

模型

放大器部分：DPS-APS-P10

隔膜部分：DPS-P

额定压力：0-1兆帕

连接方式：螺钉式

接口：鲁尔锁

可进行伽马射线灭菌、EOG灭菌和高压灭菌。

面板安装规格

模型

放大器部分：DPS-AP-P3-PM

隔膜部分：DPS-P-1/2VF

：DPS-P-3/8VF

：DPS-P

额定压力：0-300 kPa

连接方式：螺钉式

关节：竹笋

诱饵岩

可进行伽马射线灭菌、EOG灭菌和高压灭菌。

模型

规格

放大器部分模型

膈肌部分

压力范围

接触液体的部件材料

连接形状

表压

DPS2-AP-P3

DPS2-P

0-300 kPa

聚碳酸酯

诱饵岩

复合压力

DPS2-AP-M8

DPS2-M

-200 至 800 毫米汞柱

聚碳酸酯

钻孔

DPS2-AP-BT3

DPS2-BT

0-300 kPa

聚碳酸酯

硅

竹笋

耐高压

DPS-APS-P10

DPS-P

0-1兆帕

聚碳酸酯

诱饵岩

面板安装

DPS-AP-P3-PM

DPS-P-1/2VF

0-300千帕

聚碳酸酯

竹笋

DPS-P-3/8VF

DPS-P

诱饵岩

> 日本 **SURPASS INDUSTRY CO.,LTD.**（超越工业），1982 年成立，总部埼玉县，是**半导体高纯药液流体综合器件原厂**，SEMI 协会会员，专注氟树脂流体测量与控制，产品覆盖流量计、流量控制器、压力传感器、压力表、调压阀、快速接头；山金工业为代理，常与 INNODIS 阀泵、Ashizawa 研磨机、NIKKATO 日陶陶瓷配套用于 CMP、湿法清洗、锂电研发产线。

## 一、企业核心技术背景

依托**溅射薄膜传感技术、氟树脂成型技术、半导体化学工艺积累**，重点攻克三大痛点：**耐强化学腐蚀、抑制气体渗透泄漏、降低颗粒析出**；产品全部接液采用 PFA / PTFE‑CNT / PEEK / 石英玻璃，介质全程不接触金属，适配 HF 、各类强酸强碱、臭氧水、CMP 浆料、超纯水等严苛药液工况Surpass In...。

## 二、流量计全系列（主力产品线）

### 1. ERL 系列｜卡曼涡街‑压电检测（无显示内置型）

- 原理：卡曼涡街 + 压电检测

- 流量：0.3‑40 L/min；接液 PFA

- 特点：超薄小巧，无显示屏，脉冲 / 模拟输出；可密集并排安装，节省设备机箱空间；性价比高，无运动磨损部件

- 适用：机台设备内部集成，超纯水、普通酸碱药液

### 2. ESF / ESL 系列｜卡曼涡街‑超声波检测（带数显）

- 原理：卡曼涡街，**超声波非接触检测漩涡**，传感元件不侵入流道

- 流量：0.5‑18 L/min；接液 PFA；自带本地数字显示屏，支持流量上下限报警输出

- 特点：流路洁净，减少颗粒污染；方便机台面板现场目视监控

- 适用：半导体清洗、刻蚀药液回路サーパス工...

### 3. DPMX 系列｜差压式药液流量计（耐气泡）

- 原理：差压检测

- 流量：10 mL/min‑1000 mL/min；接液 PFA

- 特点：对管路气泡兼容性远优于涡街；电缆可拔插，维护方便；模拟量输出

- 适用：容易夹带气泡的化学药液、中小流量工艺回路

### 4. NTF 系列｜TOF 热式**超微量流量计**

- 原理：热标记 TOF 飞行时间法

- 流量：  5 μL/min 起**（微升级）；接液石英玻璃 + PTFE

- 特点：直通流路、死体积极小，自带数显，支持 PC 通讯

- 适用：实验室研发、微量药剂添加、小试回路Surpass In...

### 5. Z 系列｜一体式液体流量控制器 FIC（闭环自动稳流）

- 原理：检测单元 + 内置电动调节阀 + 控制单元一体化

- 流量：5 mL/min 起；接液 PFA，可选**无 O‑Ring 洁净版本**进一步降颗粒

- 通讯：RS485、CC‑Link 总线；配套 PC 软件做参数设定、数据记录、报警；闭环自动恒定流量

- 适用：半导体产线需要精准自动控流的工艺管路，无需额外配调节阀

## 三、配套流体器件（同品牌完整方案）

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等