精品 SURPASS超越 压力传感器
HPM系列


其直列式设计可节省安装空间。
这种流道结构最大限度地减少了死角，将内部容积减少到最小。
连接部件采用耐腐蚀氟树脂制成。

精品 SURPASS超越 压力传感器

精品 SURPASS超越 压力传感器

 > 日本 **SURPASS INDUSTRY CO.,LTD.**（超越工业），1982 年成立，总部埼玉县，是**半导体高纯药液流体综合器件原厂**，SEMI 协会会员，专注氟树脂流体测量与控制，产品覆盖流量计、流量控制器、压力传感器、压力表、调压阀、快速接头；山金工业为代理，常与 INNODIS 阀泵、Ashizawa 研磨机、NIKKATO 日陶陶瓷配套用于 CMP、湿法清洗、锂电研发产线。

## 一、企业核心技术背景

依托**溅射薄膜传感技术、氟树脂成型技术、半导体化学工艺积累**，重点攻克三大痛点：**耐强化学腐蚀、抑制气体渗透泄漏、降低颗粒析出**；产品全部接液采用 PFA / PTFE‑CNT / PEEK / 石英玻璃，介质全程不接触金属，适配 HF 、各类强酸强碱、臭氧水、CMP 浆料、超纯水等严苛药液工况Surpass In...。

## 二、流量计全系列（主力产品线）

### 1. ERL 系列｜卡曼涡街‑压电检测（无显示内置型）

- 原理：卡曼涡街 + 压电检测

- 流量：0.3‑40 L/min；接液 PFA

- 特点：超薄小巧，无显示屏，脉冲 / 模拟输出；可密集并排安装，节省设备机箱空间；性价比高，无运动磨损部件

- 适用：机台设备内部集成，超纯水、普通酸碱药液

### 2. ESF / ESL 系列｜卡曼涡街‑超声波检测（带数显）

- 原理：卡曼涡街，**超声波非接触检测漩涡**，传感元件不侵入流道

- 流量：0.5‑18 L/min；接液 PFA；自带本地数字显示屏，支持流量上下限报警输出

- 特点：流路洁净，减少颗粒污染；方便机台面板现场目视监控

- 适用：半导体清洗、刻蚀药液回路サーパス工...

### 3. DPMX 系列｜差压式药液流量计（耐气泡）

- 原理：差压检测

- 流量：10 mL/min‑1000 mL/min；接液 PFA

- 特点：对管路气泡兼容性远优于涡街；电缆可拔插，维护方便；模拟量输出

- 适用：容易夹带气泡的化学药液、中小流量工艺回路

### 4. NTF 系列｜TOF 热式**超微量流量计**

- 原理：热标记 TOF 飞行时间法

- 流量：  5 μL/min 起**（微升级）；接液石英玻璃 + PTFE

- 特点：直通流路、死体积极小，自带数显，支持 PC 通讯

- 适用：实验室研发、微量药剂添加、小试回路Surpass In...

### 5. Z 系列｜一体式液体流量控制器 FIC（闭环自动稳流）

- 原理：检测单元 + 内置电动调节阀 + 控制单元一体化

- 流量：5 mL/min 起；接液 PFA，可选**无 O‑Ring 洁净版本**进一步降颗粒

- 通讯：RS485、CC‑Link 总线；配套 PC 软件做参数设定、数据记录、报警；闭环自动恒定流量

- 适用：半导体产线需要精准自动控流的工艺管路，无需额外配调节阀

## 三、配套流体器件（同品牌完整方案）

1. **压力传感器**

- CS 型：经济型负压 0~‑500 kPa，PFA/PTFE 接液，无防静电

- VPSE 型：防静电负压 0~‑500 kPa，PTFE‑CNT 导电接液，消除静电损伤

- PTCX 型：M6 螺纹高压型，0‑5 MPa / 0‑10 MPa，PTFE+PEEK 接液，电缆可拔插

2. 压力压力表 HPM/HASP、DV 调压阀、FBS 快速接头、各类 PFA 管路配件Surpass In...

## 四、产品核心优势

1. **全氟洁净接液**：无金属接触药液，低颗粒释放，耐 HF、强酸强碱、臭氧水，满足半导体制程；

2. **全部无叶轮等活动部件**，无磨损，低维护；

3. **流量量程全覆盖**：5μL/min 微流量～40L/min 大流量；单纯流量监测 + 闭环流量控制两类完整方案；

4. 工业接口齐全：4‑20mA、脉冲、RS485、CC‑Link，直接对接 PLC；RoHS2、CE 认证齐全。

> 

> ⚠️选型关键点

- 管路气泡多优先选 DPMX 差压；

- 需要现场读数选 ESF/ESL；

- μL 微量给药选 NTF；

- 易产生静电药液负压监测优先 VPSE；普通预算选 CS；高压正压选 PTCX；

- 需要自动稳流选 Z 一体式流量控制器；

- **臭氧等高气体渗透性介质禁止使用**。

## 五、典型应用场景

半导体湿法清洗、刻蚀、剥离设备；面板行业；CMP 研磨液输送；超纯水； 、酸碱药液回路；锂电材料研发、医药高纯药液。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等