产品介绍
原装 DIC迪爱生 超低溶解气体脱气膜
原装 DIC迪爱生 超低溶解气体脱气膜
eFLOW系列产品是一种通过DIC自主研发的“中空纤维透气膜"向超纯水输送二氧化碳气体来控制其电阻率的设备。该设备可防止静电引起的“灰尘再粘附"和电路板图案的“静电击穿"。
申请中
产品概述：
DIC迪爱生 eFLOW 1AP-B02 超纯水防静电装置主要用途：
什么是超纯水防静电装置？
• 由于没有复杂的机械装置，故障率更低
• 独特的管道分配方式便于控制电阻率，并提供出色的稳定性
• 二氧化碳气体供应模块寿命长（5 年质保，自主生产）
设备原理：
可以通过调节二氧化碳溶解模块中生成的二氧化碳饱和水（见右上角图示）与超纯水的混合比例来调节超纯水的电阻率。
二氧化碳溶解原理：
去离子水（DIW）流经组件内部的中空纤维膜。同时，二氧化碳气体从中空纤维膜外部溶解到去离子水中。溶解的二氧化碳气体在去离子水中电离，使去离子水具有导电性并消除静电。该装置采用多束细密的中空纤维膜，以提供高效溶解二氧化碳气体所需的表面积。
2 个 AP，2 个 AC / 3 个 AP，3 个 AC
1 个 AP，1 个 AC
DIC制造的二氧化碳溶解模块（内部灌注）
eFLOW2 和 3A* 型配备两个二氧化碳溶解模块
性能数据
每种 eFLOW 类型的流量范围
每种类型的压力损失
切丁示例
洗地机清洁示例
*流量波动时，我们无法保证具体的阻力性能
*以上图表仅供参考
实际性能和特性可能因使用条件而异
定制规格和设备
■ 洁净型（流量高达 30 升/分钟）
■ 低比阻型
■ 结构紧凑，电气部分分离型
■ 大流量型（100 升/分钟）
■ 可提供其他定制服务
主要用途
• 掩模和十字线清洁
• 洗涤器清洁
• 高压喷射清洁
• 切割过程中的清洁
• 单元清洁
产品线：
面板安装型（P系列）
P系列产品可安装在符合IEA（工业电子协会）标准的机架中。标准1AP型产品的连接部件采用全洁净规格，而2AP型产品可选配全洁净兼容配置。
产品名称：
处理流量（升/分钟）
模块
eFLOW 1AP-B02
1 – 16
PF-001L-NA 1 件 1 个模块
eFLOW 2AP-B01
5 – 30
PF-001L-ND2 2 个模块
eFLOW 3AP-B01
10 – 50
PF-001L-ND3 2 个模块
柜式（C系列）
C系列配备一个可容纳两个二氧化碳钢瓶的柜体。柜体内置电阻传感器，eFLOW系统允许在使用点直接连接到水管。
产品名称：
处理流量（升/分钟）
模块
eFLOW 1AC-P201
1 – 16
PF-001L-NA 1 件 1 个模块
eFLOW 2AC-P201
5 – 30
PF-001L-ND2 2 个模块
eFLOW 3AC-P201
10 – 50
PF-001L-ND3 2 个模块
面板安装型（P系列）
eFLOW 2AP-B01
尺寸（单位：毫米）
柜式（C系列）
eFLOW 2AP-B01
尺寸（单位：毫米）
保修期及保修详情
有效膜面积：150 m²（1614 ft²），支持高通量连续脱气，适配中大型工业系统。
液相体积：18 L（4.8 US gal），响应迅速，压损低，系统稳定性高。
流量范围：5～50 m³/h（约22～220 US gpm），满足主流产线需求。
工作温度：5～50°C，覆盖常规工业运行区间。
耐压能力（液相）：
5～27°C：0.8 MPa
27～40°C：0.6 MPa
40～50°C：0.5 MPa
真空侧操作压力：建议维持在 4.0～5.4 kPa(abs)，以确保最佳脱气效率与膜寿命。
[保修期]
以下保修期适用于按照规格和本说明手册中规定的条件使用的情况。
1以水为例
自交付之日起最长一年
但是，这仅适用于严格遵守第11页第3-3(2)条所述条件的情况。
如果我们无法核实水质，则保修将不适用。
2对于水以外的液体水基液体:自交货之日起最长一年*1非水基液体:自交货之日起最长六个月*1
*1具体保修期是在对本产品使用过程中可能接触到的所有液体进行液体接触测试后确定的。
条款和条件将根据客户通知我公司的测试结果，由客户与我公司另行协商确定。
如果无法确认液体接触电阻，则该产品不在保修范围内。
此外,如果适用“2水以外的液体"，则适用的产品将受到限制。
请见下表1。
操作说明
1.一般的注意事项
1-1.使用和存放本产品时，请遵守规格中规定的使用、操作和存放条件。
请遵守这些规则，或在使用前联系我们。
1-2.本产品为消耗品，建议在保修期内更换。
1-3.对于客户使用、安装或以其他方式处理产品，我们概不负责。请自行承担使用、安装和处理产品的风险。
1-4.请勿将氧化性化学品(高浓度氯水、臭氧水等)、强酸、强碱、有机溶剂、醇类、油类或其他未经证实与该液体相容的液体倒入模块中。
1-5.请勿移除模块盖，否则可能会造成损坏。
1-6.请勿使模块受到冲击。
1-7避免阳光直射模块。
1-8.请勿冻结模块。
1-9.请严格按照各模块型号的规格，遵守供水的水质、温度和压力。
胃。
如果您使用任何未经我公司批准的液体,则保修将不适用。
2.关于验收的重要通知
2-1.请检查包装标签和产品形状，以确保您订购的产品编号正确。
请照做。
2-2.检查运输过程中是否造成损坏。如有任何损坏,请立即联系经销商。
2-3.装卸或存放产品时，注意不要使产品受到冲击或振动。
冲击或振动可能会损坏模块或导致盖子松动。
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