全新 SHIBAURA芝浦 多离子真空计
由于它是无油泵
，因此不会用油污染周围环境，而且由于使用了特殊材料，因此也很干净。　
小巧、轻便、低噪音
用途广泛
：PSL系列——既可用作压缩机，也可用作真空泵，还可组合使用。PDL
系列——作为两级真空泵，可实现更高的真空度。

全新 SHIBAURA芝浦 多离子真空计

全新 SHIBAURA芝浦 多离子真空计

本产品是一款传感器型多离子真空计，可连接不同测量范围的传感器。

传统的复合真空计将多种原理集成于单个外壳中，但我们经常听到客户反馈，例如“一个传感器故障就必须更换所有传感器"、“传感器结构复杂且容易发生故障"以及“传感器价格昂贵"。本

产品采用新型多离子真空计，在实现宽带测量的同时，显著降低了运行成本，并减少了对环境的影响。

GMi系列的特点

可以进行大范围测量，

从大气压到高真空（10⁵至5 × 10⁻⁸ Pa）（同时使用 GPM 和 GAM 时）。

采用多离子计可以连接不同测量范围的探头，

从而可以根据应用选择合适的探头。

精确的大气压测量：

大气压可以很容易地、准确地得到确认（使用 GAM 时）。

环境影响小：

由于只需根据需要更换测量元件，因此可以降低运行成本。

配备 LED 灯，可视性更佳

，方便检查异常情况。

维护简便；

测量探头易于更换。

各模式（组合模式）的规格：

GMi+GPM（离子计+皮拉尼真空计）

GMi+GPM+GAM（离子计+皮拉尼真空计+大气压力传感器）

测量值输出信号

压力为 0-10V 输出（对数输出）。

控制输出信号

设定点输出是可能的（GMi-1）

串行通信规范

RS232C/RS485 通信是可行的 (GMi-2)

符合

CE标准。

目的

用于各种制造设备（包括太阳能电池、FPD、半导体和电子元件）的高真空区域的工艺控制。

验证具有多个工艺腔室的各种制造设备（如在线式和单晶圆系统）在高真空区域可达到的压力。

高真空和超高真空设备中的压力测量

规格

模型

GMi-1

GMi-2

规格

标准规格

串行通信规范

自适应多离子计传感器

M34（NW16），M35（NW25）

可连接

传感器：多离子压力传感器：1 台，

皮拉尼压力计 GPM：1 台（可选），

大气压力传感器 GAM：1 台（可选）

采样时间

70毫秒，4次移动平均运算

测量输出

输出电压：直流 0 至 10 V，对数输出：0.75 V / 一位数

压力转换公式：V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 }

*也可用作设定点调整的输出电源（仅限 GMi-1）

更新时间

50毫秒

控制输入信号

FIL 开/关、FIL 1/2、DEGAS 开/关。

采用开路集电极输入，负逻辑。

*FIL ON/OFF 信号的使用方式因模式而异。

-

控制输出电压

传感器误差，设定点 1/2/3

，经发射验证的

灯丝功率监控

额定值：最大 24 V，最大 50 mA，

饱和电压 1 V

-

串行通信规范

-

RS232C / RS485

LED显示屏

电源/错误：电源和错误指示灯（闪烁模式随模式而变化）

FIL：发射有效指示灯

SET1：设定点 1 LED 指示灯

SET2：设定点 2 LED 指示灯

SET3：设定点 3 LED 指示灯

-

发射电流

1 mA（1 × 10⁻³ Pa 或更低），10 µA

德加斯

电子轰击法：1 mA，330 V

传感器电压电阻

2 × 10⁵ Pa（绝对压力）*法兰、夹具等的耐压性能必须单独考虑。

传感器内部容积

34 立方厘米( M34 )

工作温度范围

10至50摄氏度

工作湿度范围

15-80%（无冷凝）

储存温度

-20 至 65°C（未通电时无冷凝）

IP保护等级

IP30

电源电压

直流 20-28V（纹波和噪声小于 1%），小于 19W（通电时 156W）

输入/输出连接器

D-sub 15针（M2.6螺丝）

大量的

控制器：约 530 克，BA 探头 (M34)：63 克

外部尺寸（宽×深×高）（毫米）

144 × 75 × 62 或更小（控制器部分）

适用标准

中央电气

选项

电源/故障：多离子计量传感器

M34 (NW16)、M35 (NW25)

材质：灯丝 1 为 lr / Y2O 3涂层，灯丝 2 为 W（钨）。其他材质：

Pt C Mo、SUS、W。

皮拉尼压力表

空间物理单元

皮拉尼压力传感器

WP-16 (NW16)

材料：灯丝 Pt，其他 BS/Ni，电镀，Ni，焊料

大气压力传感器

GAM（NW16）材质：SUS316L

单元电缆

GPM 为 0.5 毫米，

GAM 为 0.5 毫米

整个单元

1通道：ISG1型（使用24V直流电源）

4通道：IM1R1型（使用24V直流电源）

IM2R1型（使用100V交流电源）

显示器连接线

GMi至显示单元连接线：

2米、5米、10米、15米

每种模式的规格

GMi-1/GMi-2 提供三种可选的使用模式：多离子计独立模式、与皮拉尼计组合模式以及与皮拉尼计和大气压力传感器三合一模式。

模式

GMi-1 / GMi-2

独立模式

GMi-1 / GMi-2 + GPM

组合模式

GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM

组合模式

测量压力范围

5 × 10⁻⁸至 1 × 10¹ Pa

5 × 10⁻⁸至 1 × 10⁴ Pa

5 × 10⁻⁸至 1 × 10⁵ Pa

测量精度

5 × 10⁻⁸至 1 × 10¹ Pa ± 15%

5 × 10⁻⁸至 1 × 10³ Pa：±15%；

1 × 10³至 3.0 × 10³ Pa：±30%；

3.0 × 10³至1.0 × 10⁴ Pa：无精度保证

5 × 10⁻⁸至 1 × 10³ Pa：±15%；

1 × 10³至3.0 × 10³ Pa：±30%；

3.0 × 10³至 1.0 × 10⁴ Pa：无精度保证；

1.0 × 10⁴至1.0 × 10⁵ Pa：±3% FS

（3 × 10³ Pa，参考温度 25°C）

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等