山金 SHIBAURA芝浦 MFC比率控制器
由于它是无油泵
，因此不会用油污染周围环境，而且由于使用了特殊材料，因此也很干净。　
小巧、轻便、低噪音
用途广泛
：PSL系列——既可用作压缩机，也可用作真空泵，还可组合使用。PDL
系列——作为两级真空泵，可实现更高的真空度。

山金 SHIBAURA芝浦 MFC比率控制器 

山金 SHIBAURA芝浦 MFC比率控制器 

本产品是一款皮拉尼真空计，能够测量从大气压到5 × 10⁻²

Pa 的宽广范围压力。 此外，该真空计从传统控制器中移除了操作和显示单元，仅专注于基本功能，从而实现了“降低成本"和“节省空间"。

GPW系列的特点

宽范围测量：能够测量从大气压到5 × 10⁻² Pa 的宽范围压力。

减少布线：集成的传感器和控制器减少了布线、空间和功耗。

提高可见性：配备 LED 灯以检测异常情况。

一键调节功能：只需轻轻一按即可完成大气压力调节和零点调节。

维护性：测量探头易于更换。

灯丝材料 - 铂 (Pt)：铂具有优异的耐腐蚀性，被用作灯丝材料。

测量输出信号：压力具有 0-10V 的标准对数输出。

提高抗冲击性：采用增强型抗冲击结构设计。

控制输出信号：可输出两个设定值（GPW-1）

串行通信规范：可进行 RS-232C/RS-485 通信（仅限 GPW-2）。

符合标准：符合CE标准

目的

用于各种制造设备（包括太阳能电池、FPD、半导体和电子元件）的低真空区域的工艺控制。

用于各种工业设备（包括熔炉）低真空区域的过程控制。

用于各种具有多个工艺腔室的制造设备的低真空区域的工艺控制，例如在线式和单晶圆系统。

规格

模型

GPW-1

GPW-2

可连接测量元件

1瓶

自适应测量元件

SWP-16（NW-16）

测量压力范围

5.0 × 10⁻² ~ 1.0 × 10⁵ Pa

测量精度*

1 × 10⁻¹至 1 × 10⁴ Pa：± 10%；

5.0 × 10⁻²至 1.0 × 10⁻¹ Pa，1 × 10⁴ Pa至 1 × 10⁵ Pa：± 20%

重复性

1 × 10⁻¹ Pa 至 1 × 10⁴ Pa：± 2%

采样时间

50毫秒5步移动平均处理

测量输出

输出电压：直流 0 至 10 伏

压力指示（对数输出）：1.7 V 至 8.0 V，1 V/数字

更新时间

50毫秒

控制输入信号

开路集电极输入，负逻辑

ADJ 调整（零点调整，大气压力调整）

-

控制输出电压

开集电极输出

负逻辑 [额定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW]

误差信号

设定点 1、2

-

设定点监控器

设定点 1 和 2：0 至 10 V 对数输出

-

串行通信规范

-

RS232C / RS485

LED显示屏

电源/故障：电源和故障指示灯

设置1：设定点1 LED指示灯；

设置2：设定点2 LED指示灯

-

丝状材料

铂

工作温度范围

10至40摄氏度

工作湿度范围

15-80%（但无冷凝）

IP保护等级

IP30（传感器单元）

安装位置

无限制

电源电压

直流 18 伏至 30 伏，2 瓦（通电时 4.8 瓦）

输入/输出连接器

D-sub 15针（M2.6螺丝）

大量的

150克（含SWP-16）

外部尺寸（电源单元）：宽×深×高（毫米）

70 × 46 × 28

适用标准

中央电气

*此精度是在进行大气压力调整和零点调整之后测得的。

轮廓尺寸图

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等