进口 INNODIS一诺迪思 PFA阀门接头
INNODIS一诺迪思 IMVD-F19mCF2-V1是韩国品牌推出的高纯PFA材质气动隔膜阀，由山金工业（深圳）有限公司代理‌，专为半导体等超净制程高纯流体控制设计。

进口 INNODIS一诺迪思 PFA阀门接头

进口 INNODIS一诺迪思 PFA阀门接头

是一款面向高洁净工业场景的高纯气动阀，核心参数与特性如下：

基础规格：‌
公称通径为50mm（约2英寸），阀体采用PFA/PTFE全氟聚合物材质，无金属部件，杜绝离子析出风险，符合UHP超高纯洁净标准。

性能特点：‌
采用气动驱动，响应迅速，支持高频次启闭操作，密封结构可靠实现零泄漏，可长期耐受HF、HNO₃等强腐蚀介质。

INNODIS一诺迪思 PFA阀门接头 IVD-P50UCF1适用场景：‌
适配大流量高纯水主管路、主药液输送系统、酸碱集中循环管路、CMP后清洗单元等半导体、生物医药等高洁净工艺环节。

连接方式：‌
支持Mega Lock快接结构或R接口，便于模块化集成与快速维护，可搭配同系列入珠、扩口类PFA接头配套使用。

一、产品整体概述

INNODIS（韩国一诺迪思）为半导体湿法制程专用高纯流体设备品牌，IBP-B10T-ZH 属于 IBP 标准小型风囊泵系列，全流道 PFA/PTFE 全氟材质、无任何金属接触药液，依靠压缩空气驱动风囊往复输送高纯药液、超纯水；ZH 代表中文配套资料 + 国内洁净厂房适配改良版本，对标 Pillar、Trebor 小型风囊泵，主打小流量精准输送、低脉动、低颗粒析出。

二、IBP-B10T-ZH 核心规格参数

表格

参数项

IBP-B10T-ZH 标准参数

泵体过流材质

本体：高纯 PFA；风囊膜片：膨体 PTFE（ePTFE）；阀球 / 阀座：PTFE，全域无金属浸润介质

额定流量

B10 规格：10 L/min（标准工况），流量可通过气源压力无级调节

最高输出压力

0.35 MPa（3.5 bar），适配晶圆清洗、药液供给背压需求

驱动气源

洁净干燥 CDA 压缩空气，供气压力 0.4～0.6 MPa

工作温度区间

0～80℃（常温药液标准工况）；短时最高 90℃

接口形式

标准入珠式 PFA 管路接口，匹配 φ1/4 英寸、3/8 英寸洁净管路

运行脉动特性

双风囊对称结构，药液输出脉动极低，压力输出平稳

颗粒等级

满足 SEMI S2 洁净标准，内部研磨抛光处理，产尘量极低

防爆特性

纯气动结构，无电机、无电火花，适配易燃易爆有机溶剂、强酸强碱工况

整机尺寸 / 重量

紧凑型台式安装，整机约 3.2kg，适配机台内部狭小空间布局

安装方式

底部标准法兰固定，立式正装安装

三、结构与核心技术优势

全氟无金属流道，杜绝金属离子污染

药液全程只接触 PFA+PTFE，可输送 HF 、显影液 TMAH、剥离液、硝酸、盐酸、氨水、各类蚀刻药液、UPW 超纯水，不会析出金属离子造成晶圆良率不良。

对称双风囊低脉动输送

区别于普通隔膜泵，风囊式柔性往复挤压输送，液体流速、压力波动极小，喷淋清洗、药液循环供给压力稳定，晶圆表面冲洗均匀一致。

气动无源安全结构

整机无电气元件，洁净室防爆等级达标，湿法槽体、药液柜密闭环境可安全使用，不存在电机过热起火风险。

自吸能力强、空转耐受

短时干运转不会损坏膜片，槽体液位偏低时不易立刻失效停机，容错性优于普通波纹管泵。

易拆解维护设计

泵头拆装简单，风囊、单向阀为独立易损件，现场即可更换备件，不用整机返厂维修，缩短产线停机时长。

ZH 本土化优化版本

附带中文安装手册、中文选型图纸，密封结构适配国内潮湿洁净车间环境，密封圈耐国内药厂、晶圆厂普遍使用的各类国产高纯化学品。

四、标准应用场景（半导体 & 显示行业为主）

半导体晶圆湿法制程（最核心）

晶圆 RCA 清洗槽药液循环、刻蚀槽药液补给、酸洗 / 碱洗药液输送、光阻剥离液供给、超纯水回路增压输送。

面板 LCD/OLED 行业

玻璃基板清洗、显影、蚀刻、剥离工段高纯药液循环输送、喷淋系统稳压供液。

光伏 & 锂电精密制程

硅片制绒酸洗药液输送、锂电极片清洗高纯溶剂输送。

生物医药高纯试剂输送

高纯度药液、缓冲液低污染转运、密闭管路循环供给。

五、出厂标配 & 山金常备选配物料

出厂标配

IBP-B10T-ZH 泵主体、安装固定底座、原厂密封垫片、出厂检测报告、中英文说明书

高频常备选配

易耗配件：原装 PTFE 风囊膜片总成、PFA 单向阀组件、入珠转接头、PFA 软管

气动配件：气源调压过滤器（FR 气源二联件）、洁净气动管路、快插接头

配套服务：泵体定期维保方案、洁净管路布局指导、泄漏故障排查、年度性能校验

六、选型区分（IBP 系列命名规则）

B10：额定流量 10L/min（小流量点位供液、小型清洗槽）

B20/B30：中大流量，适配大型槽体集中循环

T：标准通用型结构；ZH：国内制程优化中文版

七、安装与日常维护要点

驱动气源必须搭配干燥过滤装置，油水、杂质进入气缸会造成动作卡顿、流量衰减；

初次投产前使用超纯水循环冲洗泵体内部，去除加工残留微粒；

输送强腐蚀药液停机后，必须用 UPW 纯水置换冲洗泵腔，避免药液结晶腐蚀膜片；

正常工况建议每 8000 小时巡检风囊状态，药液结晶工况缩短检修周期；

管路紧固使用专用 PFA 管钳，禁止金属硬夹持划伤管路内壁造成掉颗粒。

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优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等。