原厂KOFLOC科赋乐 高流量质量控制器
KOFLOC（中文译名‌科赋乐‌）是源自日本的专业流体控制领域老牌企业，核心聚焦微小流量的测量与控制技术研发，至今已有70余年行业积淀。

原厂KOFLOC科赋乐 高流量质量控制器

原厂KOFLOC科赋乐 高流量质量控制器

金属密封质量流量控制器/流量计‌

型号：5410系列 MFC（质量流量控制器）/ MFM（质量流量计）

适用流体：氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等各类气体

最大流量：气体10SCCM~20SLM

精度：±1%满量程

尺寸图标注：38.1 2-M4，深度5

二、标准规格表

表格

参数项5410系列参数详情

传感器类型热式线圈传感器

适用气体氮气、空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等

满量程流量（氮气换算）10SCCM~20SLM

精度±1%满量程

重复性±0.2%满量程

入口最大压力500kPa（表压）

耐压值1MPa（表压）

氦泄漏率≤1×10⁻¹¹Pa·m²/s

精度保证温度15~35℃

允许环境温度0~50℃

允许存储温度10~60℃

允许环境湿度10~90%RH（无凝露）

接气部材质SUS316L、镍合金、PTFE

电气接口D-sub9针接口，符合KFC标准（兼容SEMI标准）

流量输出信号0~5VDC（负载电阻≥250kΩ）

所需电源+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）100mA

接口规格（本体口径）1/4VCR

重量约800g

三、使用注意事项

请在干燥、不含腐蚀成分、粉尘和油雾的洁净气体环境中使用，精度保证仅针对校准气体。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等