产品介绍
SIMCO思美高 5225 离子发生器
SIMCO思美高 5225 离子发生器
产品信息
5225 型 Aerobar 离子发生器是一种棒状离子发生器,专为半导体和其他应用的超洁净工艺设备而设计。
特征
■单晶硅电极在全球范围内拥有 的应用记录,具有超低颗粒特性,并避免了电极材料造成的金属污染风险。
■采用脉冲直流法,具备宽范围静电消除能力
。■全数字电路控制,实现更稳定的离子生成和长期离子平衡。
■通过在静电消除目标附近安装 5200-SR 外部传感器(可选),可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制,而不是对离子棒本身进行控制(如果未连接 5200-SR,则离子棒内置传感器会自动调节离子平衡)。
■可设置适用于半导体前端静电场效应显微镜 (EFEM) 的棒长。
■离子生成输出、离子生成时间和报警阈值等各种参数均可在宽范围内设置,从而灵活应用于远距离应用和弱气流环境。
■只需输入数值参数即可实现高重复性,从而实现快速设置。
■除了简单的报警 I/O 外,还可以使用免费的 DLL 进行实时监控,从而有助于了解过程设备的状态。
规格
5225 型气动杆
输入电压由 IM6T 供电,24V 交流电,50/60Hz,1W 典型值。
沟通方式RS485(IM6T 和 5225 之间)
输出电压0kV 至约 +/-20kV
输出格式脉冲直流模式,稳态直流模式(可选)
输出电流内置<15微安电流和电压限制电路
连接连接器RJ11,4极4芯
离子生成时间最短 0.1 秒,最长 10 秒。正负极可分别设置。
电极单晶硅电极是可更换的。
臭氧生成量<0.005 ppm(24 小时累计测量值)
清洁度ISO 1级,0.1微米
尺寸高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 长 569 毫米 (-22),721 毫米 (-28)
907毫米(-36),1128毫米(-44),1412毫米(-56),1636毫米(-64),
1918毫米(-76)和2144毫米(-84)
重量-22:1.02公斤,每增加30厘米长度增加0.17公斤。
外部的ABS树脂
接口模块型号 5200-IM6T
输入电压24V 直流 +/-5%,1.5A
沟通方式以太网、RS232C
报警输出继电器触点(仅限 4.0 及以上版本)
尺寸高74毫米 x 深71毫米 x 长315毫米
重量2公斤
我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森 DIC迪爱生 INNODIS 一诺迪思 ARLIN艾阿尔
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机
SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等
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0755-28282893

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