SIMCO思美高 5635 离子发生器
设计和制造旨在为各种电子设备、半导体、平板显示器和生命科学组装应用提供可靠的静电消除功能。
的微脉冲技术实现了稳定的离子平衡，且离子平衡幅度极小。此外，它还配备了清洁刷，可在数秒内清洁发射极，降低离子产物（异物）在发射极积聚和扩散的风险。

SIMCO思美高  5635 离子发生器 

SIMCO思美高  5635 离子发生器 

 产品信息

5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一款超低颗粒产品，专为先进半导体制造工艺中的静电消除应用以及其他需要控制小于 100nm 的微小颗粒的场所而开发。

特征

■单晶硅电极在全球范围内拥 的应用记录，具有超低颗粒特性，并避免了电极材料造成的金属污染风险。

■采用独特的脉冲调制 (MP) 方法，高效消除静电，将离子输送至目标。

■即使在 100 毫米的距离下，也能保持较小的电位波动，并且在电极棒长度方向上的偏差很小，即可实现离子平衡。

■智能控制电路可自动管理离子生成状态和离子平衡。

■可更换电极，只需旋转 1/4 圈即可安装和拆卸，有助于减少维护工时。

■脉冲调制(MP) 方法的特点是电位波动极小，简化了设置，并且极小的电位波动还能有效地将离子平衡长期维持在管理标准范围内。

■电极棒长度可根据半导体前端电化学工作站 (EFEM) 进行设置。

■紧凑型设计，内置 24V 直流驱动控制器。

■提供全球范围内的高级支持网络。

规格

5635 型 AeroBar MP

输入电压24V 直流 +/-10%

输出电压最大电压约为13.5kV pp，可调

安装距离100毫米至1000毫米（无需空气吹扫）

离子发生法电晕放电法、

脉冲调制法，调制频率1至33 Hz

离子平衡自动平衡调节方法

<+/-10V，根据杆正下方位置的不同，差异 <+/-10V

（距离 600 毫米处）

电极单晶硅电极是可更换的。

吹扫气体洁净干燥空气或氮气

最大吹扫压力310千帕

臭氧含量<0.05 ppm（24 小时累计值）

信号输出报警 I/O 开集电极输出

尺寸尺寸：高 78 毫米 x 深 34 毫米 x 长度（如下）：

450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350

毫米

外部的ABS树脂

什么是扩展 ISO 1 级，10nm？

扩展 ISO 1 级，10nm 是 ION Systems 为解决微小颗粒管理问题而制定的独特洁净度定义。ISO 14644-1 定义的最小颗粒尺寸为 100nm。扩展 ISO 1 级，10nm 使用与 ISO 14644-1 相同的公式计算允许的颗粒计数，但对于尺寸为 10nm 或更大的颗粒，允许的颗粒计数为 1200 个/立方米（34 个/立方英尺）。

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我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森  DIC迪爱生   INNODIS 一诺迪思  ARLIN艾阿尔

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等