产品介绍
Tekhne计测 MBW 973-SF6 高露点露点仪
Tekhne计测 MBW 973-SF6 高露点露点仪
特征
抽查
SF6气体露点管理
燃气变压器和燃气断路器
气体绝缘开关设备
用于半导体和液晶面板的干法刻蚀工艺
SF6气体回收和循环利用
主要用途
变压器/气体断路器用SF6纯度和露点测量
观点
环保型测量仪器
六氟化硫(SF6)气体是一种温室气体,京都议定书已设定了减排目标。据称,其单位体积的温室效应约为二氧化碳的23400倍。SF6气体被用作断路器、变压器和半导体工艺中的绝缘气体,测量其水分含量和纯度对于维持其绝缘性能至关重要。
然而,在日本,目前普遍的做法是将测量的SF6气体排放到大气中,或者花费一定的成本进行回收和分解。而MBW973-SF6技术可以将测量的SF6气体直接返回到原设备中,无需排放到大气中,从而实现 。
高精度测量
迄今为止,电容式传感器因其易用性而被广泛应用。相比之下,MBW973-SF6 采用高精度镜式传感器进行露点和纯度测量,可分别实现 ±0.5°C 和 0.5% 的高精度测量,且响应速度快,性能随时间推移衰减极小。使用该仪器可显著减轻操作人员的工作量,并使可靠的测量变得轻松便捷。
SO2测量选项
SF6气体与水分反应可净化HF气体和SO2气体。MBW973-SF6可测量浓度范围为0–100 ppm或0–500 ppm的SO2 。该传感器采用电化学池,测量精度可达满量程的±2%。
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