TOHO-TEC东朋 TohoSpec3100 薄膜厚度测量仪
薄膜应力测量装置 FLX
在半导体领域，随着速度和集成度的不断提高，衬底和沉积材料的开发、选择和管理变得比以往任何时候都更加重要，沉积过程也需要更严格的条件和质量控制。FLX
系列器件正是用于测量和分析沉积过程中产生的薄膜应力。

TOHO-TEC东朋 TohoSpec3100 薄膜厚度测量仪

TOHO-TEC东朋 TohoSpec3100 薄膜厚度测量仪

TohoSpec3100是什么？

光线经物镜垂直入射到样品上，对反射光进行光谱分析，得到各波长的反射强度数据。然后将反射光谱与已建立的测量模型的反射光谱进行拟合，从而输出薄膜厚度值。

特点 1：NanoSpec 的 继任者

在NanoSpec3000系列业务从Nanometrics（现为Onto Innovation）转移后，我们于2014年开始生产和销售TohoSpec3100系列，作为其正式的继任者。在保持相同测量性能的同时，我们对软件进行了全面升级，并修改了规格参数，以更好地满足客户需求。

此外，该系列产品还支持从NanoSpec3000导入配方，使设备升级更加便捷。

特性 2：高级测量性能

该系统不仅支持测量单层薄膜，还支持测量最多三层的多层薄膜。它可同时测量光学常数（n，k），从而实现更精确的薄膜厚度测量。软件内置多种测量模型，允许用户创建针对样品薄膜质量和结构的最佳模型。先进的分析功能甚至可以对折射率相近的薄膜和基底之间的界面进行单独测量。测量通常在一秒内完成，可以立即确认结果。

功能 3：小点测量

标准型号配备 5 倍物镜。另有 10 倍和 50 倍物镜可选，以满足您的不同应用需求。TohoSpec3100T 型号还提供 100 倍物镜，可对微小区域进行测量，测量光斑尺寸最小可达 0.75 微米。对于透明基板上的薄膜厚度测量，使用高倍物镜可 减少（或消除）基板背面反射的影响，从而获得更精确的测量结果。

用途/应用

1半导体工艺开发

该装置可用于在半导体制造过程中测量晶圆上的薄膜厚度。由于薄膜质量会随沉积条件而变化，因此针对每种薄膜质量进行高精度薄膜厚度测量是工艺开发中的关键要素。

2显示工艺开发

与半导体工艺类似，显示器工艺也包含多个薄膜沉积步骤，因此薄膜厚度的分析和控制至关重要。与使用硅衬底的半导体工艺不同，显示器工艺使用透明玻璃衬底，因此必须解决玻璃衬底背面反射的问题。TohoSpec3100T

型号配备高达 100 倍放大倍率的物镜，即使在透明衬底上也能实现更精确的薄膜厚度测量。

产品系列及规格

标准型

模型

TohoSpec3100

板材尺寸

3-8英寸

厚度测量范围

10nm ~ 30um *1

物镜

5倍（Φ50um）

测量重复性

±2A 或 ±0.1%，取较大者 *1*2

选项

10倍（Φ25μm）、50倍（Φ5μm）、USB摄像头

高分辨率模型

模型

TohoSpec3100T

板材尺寸

3-8英寸

厚度测量范围

10nm ~ 70um *1

物镜

5倍（Φ15um）

测量重复性

±2A 或 ±0.1%，取较大者 *1*2

选项

50倍（Φ1.5μm）、100倍（Φ0.75μm）、USB摄像头

*1：因所测薄膜类型和样品结构而异。

*2：在同一点进行15次测量。

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等