产品介绍
Setra西特 C25G-30CPG-C4-11-B1 压力传感器
Setra西特 C25G-30CPG-C4-11-B1 压力传感器
Setra C25系列超高纯压力变送器专门设计用于半导体工艺过程中的超高纯气体输送系统以及要求超洁净工作、高吞吐量和超高长期稳定性的控制应用。
C25系列采用可旋转的外罩结构,用户可方便地调节用于零点和量程微调的多圈电位计。标准的外螺纹/内螺纹端面密封压力接口可满足半导体行业的要求。此外,该系列产品还可选多种其他接口类型。C25系列产品提供5VDC、10 VDC或4-20mA三种输出类型,可使用六英尺多芯电缆及卡口、DSub或M12x1接头进行电气连接。
Model C25
超高纯压力变送器
特性
·泄露率低
·VCR接头
易于吹扫的小腔室
.200PSI/250PS/3000PSI
·316LVIM/VAR不锈钢
表面抛光度7Ra
·1X10°ATM.CC/sec级别的氮渗漏实验
·坚固耐用, 安装
4-20mA输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合CE标准要求
应用
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
·气柜
C25系列压力变送器采用Setra 的可变电容技术,配有VIM/VAR316L不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容,当气体压力升高时,隔膜会变得略圆,使电容减小,传感器检测到电容变化,并将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra独特的定制集成电路采用 的电荷平衡原理制成,几乎不受EMI/RFI干扰。
在制造和装配完成后,Setra超高纯压力变送器还要接受去离子水冲洗、高纯氮气吹扫、烘干、双层包装、氮气充注和密封等处理,最后才发货。
注:Setra的质量标准是根据ANSI-Z540制定的。该产品的标定具有NIST可追踪性,美国 号。
Vacuum Coupling Radius,金属面密封,以下简称 VCR。
压力范围
0psig.or-14.70 bar or -1 barpsig to:to
耐压
(psig)
25
50
100
250
500
1000
3000
-14.7~85.3
14.7~235.3
-14.7~985.3
-14.7~ 2985.3
1.7
3.4
7.0
17
35
70
200
50
75
150
350
550
1250
3500
150
350
1250
3500
设计压力破裂压(psig)
(psig)
180
365
365
600
900
1500
3000
365
500
1500
3000
1500
3000
3000
5000
7500
7500
10,000
3000
5000
7500
10,000
注:Setra质量标准基于ANSI-Z540-1。产品的校准是NIST可追湖的。
耐压:在不改变性能超过规范的情况下可施加的最大压力(士1%FS零位移)。
玻裂压在不使传感元件破裂的情况下,施加在正压端口上的最大压力。
根据ASME BPVC.IV-2015 HG-502.3计算的设计压力
子设备,压力介质的温度可更高或更低校准至5OK欧姆负载,可操作至5K欧姆负载或更高在工厂使用24VDC回路电源电压和250欧姆负载进行校准
规格改变可能不再另行通知。
规格
订货号C25G30CPGC411B1表示C25型压力变送器,压力范围为3000 PSI,表压,1/4VCR外螺纹,输出信号为4-20mA,4针卡口接头。
物理参数+0.25%FS壳体不锈钢±0.15%FS电气连接参见订购信息0.20%FS玉力接口参见订购信息面气通过外壳~65°C内腔体积0.11inVIMVAR316L不锈钢,电解抛光至8% (%FS/50°C)妾液部件7Ra(最大10Ra)世漏试验:使用质谱仪进行1x10ATM.CC/sec级别的氦渗约113g漏试验环境参数
性能参数
精度RSS(恒温下)
非线性(最佳拟合直线)
迟滞
温度影响
品度补偿范围
零点/满程漂移
压力介质
与316L不锈钢兼容的液体或气体
认证
不易燃认证:适用于潜在危险区域的认证:
北美:可选ETL认证,符合UL1604(选择N1选项)
工作温度
储存温度
电流输出型(订购N1选项时)
40°C~+85°C40°C~+85°C
-30°C~+80°C(工作/储存温度)
1.非线性、迟滞、非重复性的RSS值(方和根)。2.产品在21°C进行标定,最大温度影响误差由此数据计算。
电气参数(电压)
电路输出“激励输出电阻暖机漂移功耗
3 线(COM,OUT,EXC)
0~5VDC
010VDC5V FS0(满量程输出)时为10~30VDC10V FSO(满量程输出)时为13~30VDC1000
总误差±0.1%FS
0.03W
电气参数(电流)
电路输出。外部负载最小供电电压VDC最大供电电日(VDC)功耗
2线
1~20mA
-800010+0.02((接收器附加导线电阻)30+0.004x(接收器附加导线电阻)<0.9W
3.仅限电子元件的工作温度限制,压力介质的温度可能明显较高或较低4.采用50KO负载进行标定,可在负载≥5KQ时工作。
5.零点(满量程)输出:对于5VDC电源,出厂设置在±25mV以内;对于10VDC电源,出厂设置在土50mV以内。6.出厂标定时采用2500负载,24VDC电源。
7.零点输出的出厂设置在土0.08mA以内,满量程输出的出厂设置在土0.16mA以内。
相关产品
相关文章
0755-28282893

技术支持:化工仪器网 管理登录 sitemap.xml
版权所有 © 2026 山金工业(深圳)有限公司 工信部备案号:粤ICP备2025383973号