PFEIFFER普发 CMR 363 电容薄膜真空计
5X10-4hPa，真空计设计紧凑，简单好用，特别适合中低真空应用，Pfeiffer德国普发皮拉尼真空计TPR系列多种接口可选。型号包含真空计TPR280，真空计TPR281，真空计TPR270,真空计输出模拟信号:0-10V，可搭配德国pfeiffer真空计显示器TPG共同使用.

PFEIFFER普发  CMR 363 电容薄膜真空计

PFEIFFER普发  CMR 363 电容薄膜真空计

‌PFEIFFER普发CMR 363是德国进口高精度陶瓷电容薄膜真空计‌，专门用于中低真空绝对压力测量

核心特性

‌测量结果不受气体成分影响‌：采用氧化铝陶瓷电容传感器测量绝对压力，无需换算气体转换表格，也不受被测气体种类、成分干扰。

‌高精度快响应‌：全量程测量精度可达‌0.2%‌，响应时间仅30ms，动态反馈快，适配需要精准压力控制的场景。

‌无记忆效应‌：特殊设计无测量记忆，长期使用测量漂移小，稳定性优异。

‌兼容通用控制器‌：可适配普发TPG 361/362/366系列真空计控制器，传感器线缆需单独采购，支持3-10米不同长度规格选择。

关键技术参数

表格

参数项具体指标

测量原理陶瓷电容薄膜真空测量

满量程测量范围10 hPa（10 mBar，约7.5 Torr）

最小可测压力10^-3 mbar（约0.75 mTorr）

测量精度0.2%FS

响应时间30ms

可选接口½"管、DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、8 VCR®四种

是否进口是

适用介质干燥中性/氧化性气体

适用场景

这款真空计主要应用于对中低真空精度要求较高的场景，包括半导体生产工艺、真空镀膜设备、科研真空实验、泄漏检测系统等

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等