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产品介绍
PFEIFFER普发 CMR 361 电容薄膜真空计
PFEIFFER普发 CMR 361 电容薄膜真空计
电容薄膜真空计CMR系列|普发pfeiffer 产品优势:
1.没有记忆影响:测量精度不受被测对象的成分影响;
2.无磨损,耐污染,全系列抗腐蚀;
3.使用热膨胀系数一致的材料:出色的温度补偿能力;4.0点稳定能力出色,耐空气冲击,无须额外的保护阀
电容薄膜真空计CMR系列|普发pfeiffer技术参数:
型号
接口
输出信号V
信号传输距离
m
可烘烤温度°C
操作环境温度。
°C
存储环境温度
°C
承受最大压力
精度
0点漂移
量程最大值
量程最小值
供电电压VDC
功率消耗W
探头材料
CMR361
Pipe OD 1/2
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
Cajon 8 VCR
1.0-9.8
120
110
+5-+55
-40-+65
3 bar
0. 2% of
reading
0.005%F.S./°C
1100 mbar
0.1 mbar
14-30
1
陶瓷+不锈钢
CMR362
Pipe OD 1/2
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
1.0-9.8
120
110
+5-+55
-40-+65
2 bar
0. 2% ofreading
0.005%F.S./°C
110 mbar
1E-2 mbar
14-30
陶瓷+不锈钢
CMR363
Pipe OD 1/2
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
Cajon 8 VCR
1.0-9.8
120
110
+5-+55
-40-+65
2 bar
0. 2% of
reading
0.005%F.S./°C
11 mbar
1E-3 mbar
14-30
1
陶瓷+不锈钢
CMR364
Pipe OD 1/2"
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
Cajon 8 VCR
1.0-9.8
120
110
+5-+55
-40-+65
2 bar
0.2% of
reading
0.015%F.S./°C
1.1 mbar
1E-4 mbar
14-30
陶瓷+不锈钢
CMR365
Pipe OD 1/2"
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
Cajon 8 VCR
1.0-9.8
120
110
+5-+55
-40-+65
1.3 bar
0. 2% of
reading
0.02%F.S./ °C
0.1l mbar
1E-5 mbar
14-30
陶瓷+不锈钢
核心特性
精准高真空测量:测量范围覆盖2×10⁻⁹ mbar ~ 1×10⁻² mbar(约1.5×10⁻⁹ ~ 7.5×10⁻³ Torr), 适配高真空、超高真空工艺测量需求。
结构设计稳定耐用:采用倒置磁控管冷阴极设计,对进气冲击耐受度高,金属密封结构可承受最高150℃高温烘烤除气,适配洁净真空工艺需求。
多接口灵活选型:提供三个不同接口型号,适配不同真空系统安装:PT R25 500(DN 25 ISO-KF)、PT R25 501(DN 40 ISO-KF)、PT R25 502(DN 40 CF-F),默认常规款为FPM内密封,抗腐蚀适配普通中性工艺介质。
兼容性强:测量信号以压力对数形式输出,可搭配普发DCU/TCP 350涡轮泵控制器,或是TPG 261/262/256真空计控制器直接显示读数,控制器和信号线缆需单独购买。
适用领域
这款真空计是工业通用款,广泛应用于半导体真空设备、真空镀膜生产线、科研真空实验装置、检漏系统等场景,国内 授权经销商可提供原厂质保和选型售后支持。
我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等
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0755-28282893

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