LEVITRONIX瑞士 BPS-iF100 微电子流量泵
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LFSC-06D.1 超声波高精度流量测量微电子湿应用

LEVITRONIX瑞士 BPS-iF100 微电子流量泵

LEVITRONIX瑞士 BPS-iF100 微电子流量泵

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微电子流量控制器

BPS-iF100

BPS-iF100

用于微电子湿法工艺的

超高纯度流量控制器

最大流量20升/分钟

最大压力0.2兆帕

流量控制范围4 / 8 / 20 升/分钟

最高流体温度90°C

接液部件材质肺动脉高压

探索所有选择

Levitronix® BPS -iF100 流量控制器专为微电子湿法工艺中敏感流体的超洁净处理而设计。基于磁悬浮技术，风扇叶轮悬浮于电机磁场驱动下。宽间隙确保运动部件之间无机械接触，从而消除磨损。无需轴承或密封件即可避免磨损或损耗。

叶轮和外壳均采用耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物制成。通过电子调节叶轮转速，可精确控制流体流量和压力。

性能曲线优势下载

性能曲线

优势

业界验证——

适用于半导体制造（及其他领域）的最高纯度泵！

叶轮和泵头壳之间无机械接触

，无磨损，理论上几乎

不会产生颗粒。

极低的颗粒脱落

明显低于气动泵：

Levitronix®泵暴露在液体中的表面积明显小于同等功率的

气动泵。

金属污染极低

极其可靠：

没有轴承或密封件磨损，延长设备正常运行时间，延长工艺设备的使用寿命，并 降低

维护成本。

极长的 MTBF（>100 年）

改进的过滤性能：

开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵送

原理以及无阀门设计可提供无脉动流速，

从而提高过滤性能。

无脉动流量

与气动泵相比

，其体积小得多，没有机械轴承，而且

泵/电机设计高度集成，大大减少了占地面积， 可以

在有限的空间内安装。

占地面积小

非常适合浆料和精细电镀溶液：

由于没有 机械轴承、狭窄的间隙、裂缝、

死区和光滑的湿润表面，

因此可以低应力处理敏感流体。

低剪切仪

无需流量节流阀 - 高精度流量压力

Levitronix 泵

提供可变速度和高分辨率，可在较宽的操作范围内精确控制流量或压力。

高可控性和最宽的流量范围

凭借超过 25 年的经验，Levitronix®

泵已在其他高要求行业（包括生物制药制造）中 得到充分认可、验证 和证明。

悠久的历史

用于智能制造的BPS-iF

智能泵系统 可实现高性能数据采集，非常适合

预测性维护和工厂范围的系统集成。

数据挖掘与状态监控

与气动泵相比，振动和噪音极低

：叶轮和泵壳之间的磁耦合

几乎不会产生振动，

从而实现极其安静的运行。

低噪音和振动

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