LEVITRONIX瑞士 BPS-200 超高纯度微电子泵
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LFSC-06D.1 超声波高精度流量测量微电子湿应用

LEVITRONIX瑞士 BPS-200 超高纯度微电子泵

LEVITRONIX瑞士 BPS-200 超高纯度微电子泵

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微电子泵

BPS-200

BPS-200

用于湿法微电子工艺的

超高纯度无轴承泵

最大流量21升/分钟

最大压力0.26兆帕

最高流体温度90°C

接液部件材质聚四氟乙烯、聚四氟乙烯

探索所有选择

Levitronix® BPS -200 泵系统专为微电子湿法应用中敏感液体的高纯度处理而设计。基于主动磁悬浮技术，泵叶轮利用电机产生的磁场悬浮或旋转。宽间隙消除了运动部件之间的机械接触和磨损，从而避免了轴承和密封件的失效。叶轮和外壳采用耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物制成。通过电子调节叶轮的转速，可以精确控制流体流量和压力。

性能曲线优势下载

性能曲线

优势

业界验证——

适用于半导体制造（及其他领域）的最高纯度泵！

叶轮和泵头壳之间

无机械接触，因此不会产生磨损，

理论上也几乎不会产生颗粒。

极低的颗粒脱落

Levitronix®

泵的湿润表面积明显低于气动泵， 仅为同类气动泵的一小部分。

金属污染极少

极其可靠：

由于没有轴承磨损或密封件故障，

设备正常运行时间增加，延长了工艺设备的使用寿命并

降低了维护成本。

极长的 MTBF（>100 年）

为您的工艺提供精确、稳定、可靠的流量和压力。

开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵送

原理以及无阀门设计，确保无脉动流量并

提升过滤性能。

无脉动流量

与气动泵相比

，其体积明显小得多，高度集成的泵电机设计和

无需机械轴承显著

减少了占地面积，从而可以在有限的空间内安装。

占地面积小

非常适合浆料和精细电镀溶液：

无 机械轴承、窄间隙、裂缝、死

区和光滑的表面，

可以温和地处理敏感流体。

低剪切设计

无需流量节流阀 - 高精度流量压力

Levitronix 泵

提供可变速度和高分辨率，可在较宽的操作范围内精确控制流量或压力。

高可控性和最宽的流量范围

从几毫升/分钟到最大流速

，BPS 系统

可精确控制并保持从几毫升/分钟到最大流速的平稳流动，

实现任何竞争泵的最高调节比。

最高客流量

创建反馈回路：

将流量计或压力传感器集成到您的泵系统中

以创建反馈回路，

从而实现所需过程条件的自动控制。

集成PI控制器

凭借超过 25 年的经验，Levitronix®

泵已在其他高要求行业（包括生物制药制造）中 得到充分认可、验证 和证明。

悠久的历史

智能制造的智能泵BPS 泵 可实现高性能数据采集

，非常适合预测性维护和工厂范围的系统集成。

数据采集和数据监控

与气动泵相比，振动和噪音极低

：叶轮和泵壳之间的磁耦合

几乎不会产生振动，

从而实现极其安静的运行。

低噪音和振动

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