INFICON英福康 PPG570 压电组合真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 PPG570 压电组合真空计

INFICON英福康 PPG570 压电组合真空计

PPG570

皮拉尼真空计PPG570

大气压至中压真空计+大气压开关

嵌入式选项

与我们一起 改变您的真空计使用体验！

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新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。 

PPG570与PPG550的不同之处在于，它额外安装了ATM传感器，使PPG570可以用于传统的负载锁定应用。例如，在半导体行业或任何其他真空应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。 

在MEMS工艺中微型化的Pirani/Piezo组合技术能够建造一个非常小的传感器，从而节省空间，这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。 

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。 

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG570可以用来直接取代所谓的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™和压电负载锁真空压力传感器"。PPG570提供相同的连接器/引脚分配、模拟输出和RS232/485数字通信协议兼容性。

优势

2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放 

大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测 

大气层环境压力测量 多

达3个固态继电器 

安装方向的多样性--为工具设计提供工程自由度 

可选择的模拟输出信号，便于系统集成 

数字接口RS232/RS485 

能够直接滴入替代MKS901P "MicroPirani™-和压电式负载锁真空压力传感器"。 

合规性和标准。CE, EN, CSA, RoHS

典型应用

半导体负载锁应用 

在分析设备/质量分光计

中使用 

物理气相沉积 

规格

Measurement range (N2) mbar 1x10-6 … 1333 

Accuracy      

   1100 ... 1333 mbar % of reading 0.5 

800 ... 1099 mbar % of reading 0.25 

100 ... 800 mbar % of reading 0.5 

2 ... 99.9 mbar % of reading 1 

1 x 10-4 ... 1.99 mbar % of reading 5 

1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar % of reading 25 

Temperature compensation °C +10 … +50 

Temperature measurement absolute accuracy °C +1.5 (0 … +80) 

Supply voltage at the gauge V (dc) +12 … +30 ripple max. 1 Vpp 

在此下载完整的规格

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

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NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

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优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

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代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

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