INFICON英福康 气压中真空真空计 PSG502-S
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 气压中真空真空计 PSG502-S

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PSG50x 和 PSG51x

皮拉尼真空计PSG50x 和 PSG51x

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INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上 的数字 Pirani 技术，不锈钢传感器单元坚固耐用，结构设计紧凑，适用于半导体系统和标准应用，例如前级真空管。

优势

轻松一键调节 ATM 和 HV

节省空间的坚固设计

铝质壳体

可安装在任何方向

不锈钢测量单元，带金属密封馈入装置

对数信号输出，易于集成

螺纹接头，具有 10 bar 绝对过压能力

250°C 可烘烤装置

镍丝选件，适用于腐蚀性应用

陶瓷馈入装置，适用于腐蚀性 的应用（PSG510 和 PSG512)

可选设定点

符合 RoHS 标准

典型应用

高真空电离真空计控制

前级真空压力监控

真空系统中的安全电路

高真空和低真空范围内的一般真空测量和控制

规格

PSG500钨

PSG500-S 钨丝灯，设定点

PSG502-S 镍，设定点

PSG510-S 钨、设定点、陶瓷馈通

PSG512-S 镍、设定点、陶瓷馈通

测量范围 在 +1.9 … +10.0

准确度( N2 )

1 x 10 -3  … 100 毫巴 阅读百分比 ±15%

5 x 10 -4  … 1 x 10 -3 毫巴 阅读百分比 ±50%

100 … 1000 毫巴 阅读百分比 ±50%

重复性（空气）

1 x 10 -3  … 100 毫巴 阅读百分比 2%

允许温度

手术 摄氏度 +5 … +60

真空连接（1） 摄氏度 80 / 250  (2)

贮存 摄氏度 -20 … +65

电源电压

按量规 电压（直流） +14 …+30

波纹 电压（页） ≤1

功耗 在 ≤1

设定点

设定点数量 设定点数量 没有任何

设置范围 毫巴 ——

滞后 阅读百分比 ——

继电器触点   ——

继电器触点：切换时间 多发性硬化症 ——

暴露于真空的材料   玻璃、镍、镍铁、DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

在此下载完整的规格

零件编号

配件

备件

PSG500钨

350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF。

350-061 PSG500 1/8英寸NPT

350-062 PSG500 DN 16 CF-R

350-063 PSG500 1/2英寸管

350-064 PSG500 8-VCR（1/2英寸）

350-065 PSG500 4-VCR（1/4英寸）

350-066 PSG500 7/16-20 UNF

350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF，外置阀体

350-068 PSG500 DN 16 CF-R，外置阀体

PSG500-S 钨丝灯，设定点

350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF

350-081 PSG500-S 1/8英寸NPT

350-082 PSG500-S DN 16 CF-R

350-083 PSG500-S 1/2英寸管

350-084 PSG500-S 8-VCR（1/2英寸）

350-085 PSG500-S 4-VCR（1/4英寸）

350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF

350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF，外置阀体

350-088 PSG500-S DN 16 CF-R，外置阀体

PSG502-S 镍，设定点

350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF

350-141 PSG502-S 1/8英寸NPT

350-142 PSG502-S DN 16 CF-R

350-143 PSG502-S 1/2英寸管

350-144 PSG502-S 8-VCR（1/2英寸）

350-145 PSG502-S 4-VCR（1/4英寸）

350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF

350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF，外螺纹阀体

350-148 PSG502-S DN 16 CF-R，外置阀体

PSG510-S 钨、设定点、陶瓷馈通

350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF

PSG512-S 镍、设定点、陶瓷馈通

350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF

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