INFICON英福康 BPG552 超高真空双真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 BPG552 超高真空双真空计

INFICON英福康 BPG552 超高真空双真空计

 Trigon® BPG552

热电离真空计Trigon® BPG552

ATM 至超高真空双真空计

嵌入式选项

与我们一起 改变您的真空计使用体验！

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对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon® 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了 的精度、可重复性和使用寿命。

VacXplor® Software

VacXplor® 是我们的模块化用户软件，旨在增强您使用 INFICON Trigon® 真空计的体验。VacXplor® 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项，安装时无需管理员权限。

在此下载 VacXplor®

优势

双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间

用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝

皮拉尼互锁保护，避免灯丝过早烧毁

自动高真空皮拉尼调节，减少操作员干预

电隔离电子元件，避免杂散电流

滑动排放模式，避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象

可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间

设定点继电器

明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

可与 VGC50x 控制器系列配合使用

向后兼容 BPG402

符合 RoHS 规范

典型应用

半导体工艺中的压力测量

工业镀膜

低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围

规格

测量范围（空气、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar 

  准确性   

1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  读数的 ±15 

100 … 1000 mbar           ±50% 

  重复性 读数的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（稳定 10 分钟后） 

  暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨 

零件编号

备件

零件编号 描述 

354-420   BPG552 Spare sensor head, KF25 

354-421 BPG552 Spare sensor head, CF40 

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宣传册

数据表

手册

3D文件

其他

软件

该产品被用于以下市场

真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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半导体设备制造商

半导体行业涉及集成电路的设计、制造、组装和测试，而半导体主要用于数据处理、通信、消费电子、汽车和航空航天。

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半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

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分析仪器

...

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工业制造

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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显示器

INFICON汇聚 科技，实现最高质量的显示器产品

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研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

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医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求

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RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

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