INFICON英福康 MAG070 磁控管冷阴极真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 MAG070 磁控管冷阴极真空计

INFICON英福康 MAG070 磁控管冷阴极真空计 ‍

MAG050, MAG060, MAG070

冷阴极真空计MAG050, MAG060, MAG070

用于 VGC094 和 VGC083C 的冷阴极无源真空计

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真空计MAG050、MAG060 和 MAG070 是历史悠久的无源倒置磁控管冷阴极真空计，可与真空计控制器 VGC094 和 VGC083C 配合使用。它们设计用于 1×10-11 (MAG070) 至 5×10-3 mbar 压力范围内的真空测量。紧凑的金属设计提供了适用于一般真空应用的坚固解决方案。MAG050 是一种更简单的冷阴极真空计，带有一个橡胶密封馈入件。

由于采用了全金属设计，MAG060 和 MAG070 可满足烘烤温度高达 250 °C 或抗电离辐射能力较强的苛刻应用需求。这两款产品均可在超高压范围内进行压力测量。MAG070 的三轴连接可实现 压力读数（低至 1×10-11 mbar），并可在表头和控制器之间实现远距离操作（最远可达 500 米）。所有表头都在阳极上安装了点火辅助装置（减少了低压下的冷阴极点火时间），并且可以方便地拆卸和清洁，从而可以在停机时间最短的情况下长期使用。

优势

基于倒置磁控管原理的表头设计可靠且经过验证

大真空压力测量范围能力从 1×10-11 (MAG070) 到 5×10-3 mbar

可烘烤至 150 °C (MAG050) 或 250 °C (MAG060, MAG070)

良好的点火性能

采用陶瓷馈入件，耐腐蚀

提供抗辐射设计（MAG060、MAG070）

易于维护，拥有成本低

典型应用

适用于从低真空到高真空范围的苛刻和/或高温应用的通用真空测量和控制装置

运营单位

真空计控制器 VGC094 和 VGC083C（不包括 MAG070）

规格

MAG050

MAG060

MAG070

测量原理 反相磁控管冷阴极

测量范围 2x10-9 ... 5x10-3 mbar

精度（N2） 30% 的读数

重复性（N2） 5%的读数

内部密封 AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM)

烘烤温度 ≤150°C

最大操作距离 ≤100 m

电离辐射耐受性 -

暴露在真空中的材料 不锈钢、AI2O3、Ag、Mo

特性 三同轴连接器

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部件编号

部件编号

配件

MAG050

399-840 DN 25 ISO-KF

399-841 DN 40 ISO-KF

399-842 DN 40 CF-F

MAG060

399-845 DN 40 ISO-KF

399-846 DN 40 CF-F

MAG070

399-847 DN 40 ISO-KF

399-848 DN 40 CF-F

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