INFICON英福康 CDG100D 高精度电容真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 CDG100D 高精度电容真空计

INFICON英福康 CDG100D 高精度电容真空计

 SKY® CDG100D

电容式压力计SKY® CDG100D

100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起 改变您的真空计使用体验！

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INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有 的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质 成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

优势

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移

诊断端口便于快速服务与维护

两年保修服务，*的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

 的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准

合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

化学和腐蚀性高温过程

需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

规格

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

精度  % of reading 0.2 

   分辨率 percent FS 0.003 

   输出信号（模拟） V (dc) 0 … +10 

   反应时间  ms 30 

   暴露于真空的材料   Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) 

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手册

数据表

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该产品被用于以下市场

分析仪器

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