INFICON英福康 CDS530D 真空电容式压力计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 CDS530D 真空电容式压力计

INFICON英福康 CDS530D 真空电容式压力计

 Spot® CDS530D

电容式压力计Spot® CDS530D

全量程 10 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

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Spot CDS530D陶瓷电容膜片传感器是为整合到您的特定真空仪器和系统的有限空间中而设计的。 

双微型传感器在很宽的测量范围内具有很高的精度，氧化铝陶瓷电池和可焊接不锈钢馈入件都涂有氧化铝涂层。传感器的电子装置提供了一个数字SPI接口，便于集成。 

该传感器具有快速的数据循环时间，可对压力变化作出即时反应，具有出色的可重复性和长期稳定性。

优势

双微型传感器测量范围宽，精度高

范围广，精度高 

优异的重复性和长期稳定性 

带SPI接口的传感器电子元件，易于集成 焊接式

定制法兰，用于集成校准的传感器 

响应时间快 

超压能力强

规格

100 托

准确性 读数的 0.5% 

  解决 满量程的 0.01% 

  暴露于真空的材料 陶瓷（AI 2 O 3）、不锈钢（AISI 316L） 

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数据表

Spot™ CDS530D 数据表PDF•91.0 KB•英语•数据表

手册

3D 步骤文件

其他

该产品被用于以下市场

显示器

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半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

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