INFICON英福康 IE514 标准热阴极真空规头
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 IE514 标准热阴极真空规头

INFICON英福康 IE514 标准热阴极真空规头

IE414, IE514

热电离真空计IE414, IE514

用于 IM540 的热阴极电离无源真空规头

嵌入式选项

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IE414 和 IE514 是基于热阴极电离效应的 真空传感器。IE414 是一种 Bayard-Alpert 真空计，而 IE514 则基于抽气机原理。这些无源真空计由 IM540 真空计控制器组合和控制。

通过调节阴极发射电流，IE414 的测量范围从 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超过 9 个分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以达到 2×10-12mbar 的测量下限，这要归功于其本身减少了 X 射线和离子解吸效应。IE414 和 IE514 真空计头专为低放气真空系统设计，可在 温度（400 °C）下烘烤。耐高温真空计头电缆套件也可用于超过 200 °C（传感器法兰处为 250 °C）的高温烘烤。

优势

采用单独校准的传感系统，测量精度高

可更换阴极

的高温烘烤温度可达 400 °C

IE414

Bayard-Alpert 传感原理

测量范围达 2×10-11毫巴

阴极发射电流调制（与 IM540 真空计控制器结合使用）

IE514

抽气机传感原理

测量极限，低至 2×10-12mbar

显著降低 X 射线和离子解吸效应

典型应用

需要在超高真空范围内进行精确真空测量和高温烘烤的科学和研发应用

运营单位

真空计控制器 IM540

规格

IE414

IE514

测量原理 贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离

测量范围 2×10-11 ... 1×10-2 毫巴（带模块化发射电流）

X 射线极限<10-11 毫巴

馈入量 氧化铝陶瓷

烘烤温度 ≤400 °C

暴露在真空中的材料 镍铁、AI2O3、不锈钢、Y2O3、钼、钨

特点 铱丝，涂有Y2O3

钼阳极

部件编号

部件编号

配件

IE414

399-661 IE414 DN 40 CF-F

399-676 替换阴极 IE414

IE514

399-663 IE514 DN 40 CF-F

399-677 替换阴极 IE514

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数据表

IE414, IE514 Sensors High-en

代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森  RIYYO理阳

Düsen-德国 Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奥谱天成

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