INFICON英福康 IRG080 电离子基准真空计
质谱仪QMG 800
以 的灵敏度、精确度和 分析能力挑战极限

INFICON英福康 IRG080 电离子基准真空计

INFICON英福康 IRG080 电离子基准真空计

IRG080

IRG080

电离真空计的新标准。

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离子基准真空计 IRG080 是专为在真空系统中精确测量总压而开发的 真空传感器。IRG080 基于创新的电离真空计概念（热阴极发射电子以直线路径进入法拉第杯），适用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范围内的参考标准。

IRG080 具有 的精度（低至 1%）、可预测的气体灵敏度（极小的差值）、 的短期重复性和再现性。该仪器是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示和操作单元连接和控制。

优势

专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发

电极系统配置符合 ISO TS 6737 标准

相对气体灵敏度可预测，不确定性小，可测量所有气体种类的真实压力

电子发射稳定，不受 ESD 或 X 射线效应的影响

可重复，易于运输

烘烤温度可达 165 °C（带耐温电缆），不带连接器单元时烘烤温度可达 400 °C

可提供用于磁屏蔽的 Mu 金属中间件

运营单元

离子参考计控制器 IRC081

参考标准

氮气精度低于 1

可预测的气体灵敏度，误差极小（<1.5）

真正的总压测量

 的短期重复性（<1%）和再现性（<1）

测量原理

电子离开阴极（左侧），被阳极加速到 200 eV，然后被离子收集器聚焦。电子路径的长度具有良好的特性，因此仪器的灵敏度是可以预测的。电子在阳极栅内产生的离子被加速到收集器，并以电流形式测量。阳极栅外产生的离子会被偏转器捕获。

一个完整的套餐

通过离子参考规控制器 IRC081 的操作和显示界面

用户可控制 IRG080 仪器参数

在 IRC081 用户界面软件 (LabVIEWTM) 中显示设置和测量值

数据和参数记录功能

规格

测量系统 热阴极电离 

  电极系统配置 根据 ISO TS 6737 

  使用 IRC081 控制器的测量范围（N2） <1×10-8 … 1×10-4  毫巴 

  灵敏度（N2，典型值） 29  毫巴-1 

  精度（N2，典型值） 读数的 <±1%  

  重复性（N2） 读数的 <1%  

  馈通 氧化铝陶瓷 

  烘烤温度 ≤400℃ 

  暴露在真空中的材料 不锈钢, NiFeCo, Al2O3, Ta, W 

下载完整规格

部件编号

部件编号

配件

  IRG080 

399-874 IRG080 DN 63 CF-R，BNC 和多芯连接器 

399-875 IRG080 DN 63 CF-F，BNC 和多芯连接器，金属中间件 

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                             所有语言                                                                                                                                    德语                                                                                                                                                                    日语                                                                                                                                                                    韩语                                                                                                                                                                    西班牙语                                                                                                                                                                    中文                                                                                                               

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