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INFICON英福康 VGC083 超高真空计控制器
INFICON英福康 VGC083 超高真空计控制器
VGC083
真空计控制器VGC083
无源真空计的三通道控制器
嵌入式选项
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真空计控制器 VGC083 A/B/C 是一款三通道真空计控制器,用于从大气压到超高真空的真空压力监测和控制。VGC083 的工业设计与大量可选的无源真空计头相结合,为需要宽真空测量范围的真空应用提供了灵活、可靠和经济的选择。由于兼容性强,VGC083 是需要直接替换现有系统的理想解决方案。
VGC083 可配置为控制和读出多达 3 个无源真空计头,包括两种无源传感器设计类型:一个电离真空计(热阴极或冷阴极)和两个皮拉尼真空计。
VGC083A 设计用于一个无源热阴极电离 Bayard-Alpert BAG050(裸规)或 BAG055(紧凑型金属封闭)压力表头和两个对流增强型 Pirani PGE050。
VGC083B 可安装一个无源热阴极电离 Bayard-Alpert BAG051(裸规)或 BAG052/053(玻璃管)仪器头和两个 PGE050。
VGC083C 可以控制一个无源反向磁控管冷阴极 MAG050/060 测头和两个 PGE050。
六个单极设定点继电器可分配给任何一个仪器头。内置 RS232 和 RS485 控制接口,用于系统集成。
优势
从大气压到超高真空的真空压力监测和控制的灵活解决方案
三个单独的明亮LED显示屏,操作清晰简单
使用软键进行参数、传感器和一般设置
根据真空规类型,用户可选择灯丝、脱气电子轰击或I2R电阻加热进行测量调节
三个模拟输出,用户可分配给单个真空计或真空计组合
六个可分配的单刀双掷设定点继电器
离子计过压保护:传感器1可以从传感器2或3自动打开/关闭
每个通道拥有三个可定义的设定点,设定点带可调迟滞功能
远程数字I/O传感器和发射开关,RS232/RS485串行通信
Granville Phillips®Bayard-Alpert仪表控制器307和配件的直接替换
(Granville-Phillips® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)
测量配置
背板视图
VGC083 C Backside
VGC083 Front
VGC083 A / B Backside
VGC083 C Backside
VGC083 Front
量具概览
BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
MAG050
MAG060
PGE050
测量原理 贝亚德-阿尔伯特,热阴极电离
量具类型 电子轰击(EB)脱气裸规
压力范围 2.7×10-11 mbar to 1.3×10-3 mbar
规格
VGC083
测量通道 3
显示
压力显示 LED - 3 个独立的压力显示通道
编程和设置屏幕 OLED
测量范围 1 x 10-11 ... 1333 毫巴
测量单位(可选) 毫巴、托、帕
设定点继电器 6 个单刀双掷继电器 (SPDT),用户可将其分配给任意压力表
触点额定值 30 V(直流)时 5 A,250 V(交流)时 5 A,电阻负载
模拟输出 离子表(BAG、MAG)、离子表与 PGE 组合、单 PGE
接口(数字) RS232, RS4851)
电源电压(外部) +20 ... +28 V (直流)
操作温度 +0 ... +40 °C
1) 命令协议与 GP307 兼容
电缆
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C
399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
399-81x BAG055 Mini IG cable, 50 °C
399-86x BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C
399-58x PGE050 cable, 50 °C
部件编号
部件编号
量具
电缆 VGC083A
电缆 VGC083B
电缆 VGC083C
399-700 VGC083A 真空计控制器
399-701 VGC083B 真空计控制器
399-702 VGC083C 真空计控制器
399-710 电源 220 W VGC083 (A & B)1)
399-711
代理品牌:CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森 RIYYO理阳
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