东京计TOKYOKEISO 质量流量计 TF-1001P-020
除了高度可靠的机械式现场指示器外，还配备了报警触点输出以满足各种需求。标准金属材料和全系列内衬材料覆盖几乎所有流体，包括高腐蚀性流体

东京计TOKYOKEISO 质量流量计 TF-1001P-020 

东京计TOKYOKEISO 质量流量计 TF-1001P-020 ‍

 流量计/液位计产品指南

产品支持

下载

技术信息

公司信息

招聘信息

CLFC300

家>流量计/液位计产品指南>纯水/化学设备流量计和控制器>CLFC300

流量测量装置

纯水/化学设备流量计和控制器流量控制器（设备用）| 一体式

CLFC300系列是集成了超声波流量计检测器、控制阀以及进行流量计算和阀门控制的电路的流量控制器。它

配备了可以极快的速度跟踪目标流量的控制功能，可用于控制半导体设备中所需的各种液体，例如化学品的定量供给、DIW的流量控制以及浆料流体的定值控制。

关于CLFC1000

即将推出的CLFC1000型号变更的产品介绍视频

目录和小册子

CLFC300系列

目录 PDF

*为了改进产品，所提供的信息可能会有所更改，恕不另行通知。

特征

提高可控性：

改进了传统的计算过程，进一步提高了对气泡的抵抗力。

流量测量的稳定性也得到了提高。

提高控制性

：最新的计算电路实现了极快的阶跃响应性能，实现了相对于设定值的控制速度小于1.5秒。

我们提供两种类型的阀门。

针阀适用于化学品和去离子水 (DIW)，夹管阀适用于浆料流体。

除了夹管阀之外，我们还新增了 STA-PURE 型 PCS 管。Sta

-Pure 管经久耐用，无需像以前那样定期更换管子。

小型轻便的

超声波流量计将检测器、控制阀和电路集成在一个小型外壳内，安装于设备内部时可节省空间。

结构经过重新设计，比以往型号更加紧凑（体积缩小20%）。

体积缩小的同时，重量也减轻了（体积缩小35%）。

减少接线和管道

安装只需连接流体入口和出口接头并使用多芯电缆进行电气接线；不需要复杂的管道或接线。

环保

：降低电流消耗（实测值：减少35%）。

采用符合RoHS标准的部件制造。

耐腐蚀性能 的

接液部件采用 PFA 和 PTFE 材质，适用于半导体行业以及其他各种接触化学品的行业。

外壳材质也采用了 PVDF。

EMC 合规性

EN 61326-1:2006

主要应用

设定药液、DIW 的供给流量

通过在以前通过计量泵或加压罐控制的各种药液、DIW 的供给管线中安装 CLFC300，可以高精度、稳定地控制供给的药液量。

浓度控制

用纯水等稀释药液，控制一定浓度时，在药液、纯水管路上安装CLFC300，可实现高度的浓度控制和管理。

稳定供给浆液

通过在CMP设备的各种浆液供给管线中安装CLFC300，可以稳定、定量地供给浆液，并可以防止所用液体的浪费。

标准规格

测量什么所有液体（为了稳定测量，液体不应含有气泡。） 

口径φ1/4 

流量范围用于浆液（夹管阀）

50至500mL/min 

纯水、化学液体（针阀）

最大200-2000mL/min

最小5-50mL/min 

流体温度10 至 50 °C 

流体压力最大0.4兆帕。 

过程连接Pillar S300（标准）、Flare 

测量精度±0.2%（满量程） 

联系我们产品咨询

我们可以解答您有关我们产品的任何疑问或技术问题。

产品咨询

代理品牌：CCS晰写速  SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 watson沃森

Düsen-德国 Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奥谱天成

APEX精锐 ‌Bettersizer丹东百特 Teledyne FLIR YOKOGAWA横河 METROL美德龙 shimadzu島津 SIBATA柴田科学 NICHIRYO立洋 东丽TORAY BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达 牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和 FUJIKIN 富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

SOKYO松野

有任何需要都可以发我。这边想办法去处理