东京计装TOKYOKEISO 流量计 UCM-04A-002
除了高度可靠的机械式现场指示器外，还配备了报警触点输出以满足各种需求。标准金属材料和全系列内衬材料覆盖几乎所有流体，包括高腐蚀性流体

东京计装TOKYOKEISO 流量计 UCM-04A-002

东京计装TOKYOKEISO 流量计 UCM-04A-002‍

 UCM-04A/06A

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流量测量装置

纯水/化学设备流量计和控制器超声波流量计（设备用）| 流量监测器

UCM-04A/06A是一款小口径超声波流量计，可高精度、稳定地测量超纯水、各种化学品等的流量。

通过集成检测器和转换器，实现了大幅小型化和节省空间。流量通过7段数码管和LED条形图显示在正面，方便现场确认。

所有与液体接触的部件均采用半导体行业专用的模压PFA材质，并采用理想的洁净结构，没有活动部件和容易积液的密封部件，非常适合半导体设备等对洁净度有较高要求的工艺。

流量计的入口和出口为标准尺寸的管道，可连接各种PFA接头。它可以轻松连接到以前仅进行简单流量监测的工艺流程。

目录和小册子

UCM-04A/06A

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*为了改进产品，所提供的信息可能会有所更改，恕不另行通知。

特征

转换器和检测器集成在一起，使管道和接线极其简单。

节省空间

仪表正面的 7 段 LED 条形图使您即使在黑暗的地方也可以检查流速。

通过使用专用配置软件，可以更改报警输出等参数的设置。

内置理想的清洁结构检测器

磁铁零点调整

通过RS-485通讯进行参数设置

符合RoHS标准

主要应用

半导体制造设备工艺中纯水和超纯水的流量测量

各种化学品注入过程的流量测量

高腐蚀性液体的流量测量

其他，非常适合测量和控制中小直径工艺液体和清洁设备

的流量

标准规格

格式UCM-04AUCM-06A

测量什么所有液体（不含气泡的液体。高渗透性液体除外。） 

口径φ6.35×φ4.35管 φ9.53×φ6.35管 

流量范围最大 0 至 3.0 L/min

最小 0 至 0.2 L/min 最大 0 至 8.0 L/min

最小 0 至 1.0 L/min 

流体温度10 至 60°C 

流体压力0至0.4MPa 

过程连接PFA管端 

测量精度±1% FS

（但流量范围0～500mL/min以下时为±8mL/min） ±1% FS

（但流量范围0～1000mL/min以下时为±17mL/min） 

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