otsuka大塚电子 SM-100S 智能涂层测厚仪　
高精度便携式薄膜测厚仪
“
我想测的时候不能立即测量"、

您在测量薄膜厚度时是否遇到过这些问题？这款智能薄膜测厚仪具备以下特点，可以解决您的问题。

otsuka大塚电子 SM-100S 智能涂层测厚仪　

otsuka大塚电子 SM-100S 智能涂层测厚仪　

高精度便携式薄膜测厚仪

“

我想测的时候不能立即测量"、

“测量结果因人而异"、

“测量精度差"

您在测量薄膜厚度时是否遇到过这些问题？这款智能薄膜测厚仪具备以下特点，可以解决您的问题。

・便于携带至生产现场

・它很简单，任何人都可以使用。

・即使是手持式也能进行高精度测量

・形状不规则的样品也可以进行无损测量

 产品信息

特征

便携型，重量仅1.1公斤，方便携带

“高精度测量 & 简易测量" 无需校准曲线，即可测量最小厚度达 0.1 μm 的样品。

“多层薄膜支撑"：可测量最多三层的多层薄膜。

“无损、非接触式测量"——测量过程不会对样品造成任何损伤。

“测量各种样品" 测量可在任何基材（玻璃、塑料）上进行。

1. 便于携带到现场的字体

① 小型光谱仪

② 小型白色光源

3）设备内置计算机

传统上，分析是在个人电脑上完成的，但是……

分析

展示

手术

触摸面板就能实现这一点！

④电池供电

⑤参考镜

⑥可更换探针

优点

你可以把它带到以前去不了的地方！

原因

光谱仪小型化、电池故障等。

场景1：商务旅行目的地

场景二：生产线

场景3：无法移动的东西

2：它很简单，所以任何人都可以使用。

优点

无需任何专业知识或操作培训！

原因 1无需组装，打开即可使用。

设置状态

原因二只需将探针放在样品上即可进行测量。

简单的

原因三通过触摸面板进行直观操作

几乎不需要任何设置

！

3：即使是手持式也能进行高精度测量

优点

可以以0.1微米为增量进行精确测量。

原因

它采用光谱干涉法

原则测量涂覆在基材上的薄膜

从上方入射的光线

会在薄膜表面反射

，穿过薄膜的光线会在衬底和薄膜的界面处反射。

此时

测量由光程差引起的相位偏移所造成的

光学干涉现象

薄膜厚度由获得的反射光谱和折射率计算得出。

4：异形样品也可以进行无损测量。

优点

①可测量大尺寸样品。②

可进行无损测量。③

可测量各种形状的样品。

原因

因为这是一项需要施加探针的测量。

即使是无法放置在传统桌面设备上的

物品，它也可以用于此。

无需剪掉它

无需施加压力，例如捏或按压。

优点

① 可测量各种形状的样品。②

可测量大型样品。③

可进行无损测量。

原因

探针可以更换以适应样品。

探头①：标准探头

用于平面样品

（例如）电影，简单形状

探针②：笔式探针选项

适用于空间或形状狭窄的样品

（例如）电影，简单形状

探针③：非接触式平台选项

用于存放您不想接触的样品

（例如）湿膜、半导体晶片

 规格

规格

　物品专业版标准

　模型SM-100PSM-100S

　测量方法反射光谱法（光学干涉法）

　测量薄膜厚度范围*10.1 至 100 微米（单层）

　1 至 100 微米（多层）1至50微米（单层）

　多层支撑最多 3 层1层

　测量重复性2.1σ 0.01μm（氧化硅薄膜 1μm）

　测量点直径直径 1 毫米或更小

　数据输出格式以文本格式导出到U盘

　体型尺寸约为 138（宽）x 198（深）x 61（高）毫米

（含凸起部分）

　重量约1.1公斤

　运行时间超过 4 小时（测量期间）

　电源电压/功率AC100-240V/35VA（交流适配器输入）

　保护等级IP30/IK06

*1 当样品折射率为 1.6 时